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ULVAC/日本爱发科 罗茨干式真空泵LR系列
产品简介：

ULVAC/日本爱发科 罗茨干式真空泵LR系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号：LR3601

更新时间：2026-05-08

厂商性质：经销商

访问量：15

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ULVAC/日本爱发科 罗茨干式真空泵LR系列
ULVAC/日本爱发科 罗茨干式真空泵LR系列

ULVAC 罗茨干式真空泵 LR 系列（多级罗茨・低温均热・洁净通用）

定位：半导体 / FPD 通用型干泵，主打低温均热化、高抽速、快速排气、洁净无油，适配 PVD 与 Load Lock 场景。

1. 型号与核心参数（50Hz）

型号抽速 (m³/h)极限压力 (Pa)冷却重量 (kg)
LR6062≤0.67水冷145
LR9095≤0.67水冷165
LR180190≤0.67水冷210
LR600600≤0.1水冷380
LR12001200≤0.1水冷450
LR18001784≤0.67水冷553
LR36013200≤0.67水冷850

2. 核心技术

  • 多级罗茨结构：3～4 级罗茨转子串联，无油干式压缩，转子 / 腔体无接触。

  • 低温均热化：泵体低温区均衡加热（＜100℃），防水汽凝结，适配惰性气体 / 轻度制程。

  • 氦气密封 + 隔离设计：齿轮箱油与泵腔隔离，配氦气密封，* 无油污染。

  • ECO‑SHOCK 节能：可选节能模式，极限压力下功耗降低20%～30%。

3. 关键优势

  • ✅ 快速排气：大气压附近抽速高，Load Lock 腔排气时间缩短30%+，提升产能。

  • ✅ 高洁净度：无油 / 水 / 密封介质，满足半导体 / FPD 高洁净要求。

  • ✅ 低噪可靠：内置消音器，噪音≤64dB (A)；无易损件，免维护周期长。

  • ✅ 安全监控：超温 / 超压 / 漏气 / 瞬停保护（1000ms 内），支持远程通信。

4. 典型应用

  • 半导体：PVD（溅射 / 蒸镀）、Load Lock 腔、TMP 前级泵。

  • FPD / 光伏：面板镀膜、硅片制程、快速排气。

  • 科研 / 洁净室：中小型设备、实验室洁净排气。
















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