ULVAC/日本爱发科 多级罗茨干式真空泵
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一、核心系列与定位

型号：LR60/90/180/421/600/1200/1800/3601

抽速：62~3200 m³/h；极限压力：0.1~0.67 Pa

型号：HR60/90/300/600/1200

抽速：62~1200 m³/h；极限压力：≤0.1 Pa

• GR 系列（工业通用型）：结构简化，适配大气反复抽气、高负荷工业场景。

• 型号：GR60A/90A/180A

• 抽速：62~237 m³/h；极限压力：5 Pa

• CR 系列（空冷紧凑型）：空冷设计、体积小，获 CE/cTUVus 认证，适配中小型设备、洁净室。

• 型号：CR300B

• 抽速：300 m³/h；极限压力：≤0.5 Pa；功率：3 kW

二、工作原理与结构

• 多级罗茨转子：2~4 级罗茨转子串联，无油干式压缩，转子与腔体无接触。

• 泵体均热化（LR/HR 核心）：

• LR：低温均衡加热，避免水汽凝结，适配 PVD/Load Lock。

• HR：高温均衡加热（最高 150℃），让 CVD / 刻蚀副产物保持气态排出，防止沉积。

• 密封与隔离：齿轮箱润滑油与泵腔隔离，配氦气密封，杜绝油污染。

三、关键技术参数（主力机型）

四、核心优势

1. * 洁净无油：泵腔无油 / 水，避免油返流污染，满足半导体 / 面板高洁净要求。

2. 高抽速 + 快速排气：大气压附近抽速高，Load Lock 腔排气时间缩短30%+，提升产能。

3. 高温防沉积（HR）：高温均热化防止副产物冷凝，适配 CVD / 刻蚀等严苛工艺。

4. 高耐腐蚀：关键部件特殊表面处理，耐受 HF、Cl₂等腐蚀性气体。

5. 低运维成本：无易损件，免维护周期长；可选 ECO-SHOCK 节能，功耗降低20%~30%。

6. 全安全设计：超温 / 超压 / 漏气 / 瞬停保护（1000ms 内），支持远程通信监控。

五、典型应用场景

• 半导体：CVD、刻蚀、PVD、Load Lock 腔、TMP 前级泵（HR/LR）。

• 面板 / 光伏：FPD 镀膜、硅片制程、快速排气（LR）。

• 工业制程：真空干燥、脱泡、热处理、气体置换（GR）。

• 科研 / 洁净室：中小型设备、实验室、无废水场景（CR）。

六、选型建议

• 洁净 PVD/Load Lock → LR 系列

• CVD / 刻蚀 / 腐蚀性气体 → HR 系列

• 工业高负荷 / 反复抽气 → GR 系列

• 空冷 / 紧凑 / 洁净室 → CR 系列