ULVAC/日本爱发科 螺杆式干式真空泵 LS系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、型号与规格（4 款主力机型）

• C 型（Clean）：清洁工艺版，标配ECO‑SHOCK 节能，无轴封气体，适配空气 / N₂等洁净气体。

• L 型（Light）：轻制程版，带表面处理与吹扫功能，适配水汽、挥发性药液等。

二、核心结构与原理

• 结构：锥形变螺距螺杆转子（钢制）+ 干式腔体，无油、无密封水、无轴封气体（C 型）。

• 原理：转子啮合旋转，将气体从进气口轴向输送至排气口，纯干式压缩，无介质污染。

三、关键核心优势

1. 高速抽气，缩短抽气时间

   大气压附近抽速高，对比传统泵抽气时间缩短约 20%，适合大腔体快速建压。

2. ECO‑SHOCK 节能，低功耗运行

   C 型标配 ULVAC 自研节能技术，极限压力下功耗 **≤0.6kW（LS120A‑C）**，长期运行成本低。

3. 超低噪音，≤61dB (A)

   内置消音器，干式运行噪音低，适配洁净车间、实验室等对噪音敏感场景。

4. 清洁无油，无污染

   全程干式设计，无油、无水、无密封介质，避免制程污染，满足半导体 / 镀膜高洁净要求。

5. 高可靠性，免维护周期长

   转子与腔体无接触磨损，无易损件，日常仅需检查过滤器，维护成本低。

6. 紧凑轻量化，安装灵活

   整机柜式设计，占地小、重量轻，可独立安装或替换旧泵，无需复杂土建。

四、典型应用场景

• 半导体：溅射、沉积、镀膜、负载锁腔、TMP 前级泵（C 型）。

• 工业制程：真空干燥、冷冻干燥、灰化、脱气（L 型）。

• 其他：光伏 / 面板镀膜、精密制造、科研实验室等中低真空需求。

五、选型建议

• 洁净气体（空气 / N₂）、优先节能 → 选C 型。

• 含水汽 / 易挥发物质、需吹扫 → 选L 型。

• 小腔体 / 低流量 → LS120A；中流量 → LS300A/LS600A；大流量 → LS1200A。