日本Osaka Vacuum大阪真空 RD 系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

日本Osaka Vacuum大阪真空 RD 系列
日本Osaka Vacuum大阪真空 RD 系列

• 型号范围：RD302、RD600、RD1510、RD2500、RD2510（抽速覆盖90–2500 m³/h）。

• 类型：直连电机罗茨泵（机械增压泵），真空侧无油，轴承 / 齿轮油润滑。

• 用途：大腔体粗抽 / 高真空增压、半导体 FPD、真空镀膜、化工脱气、大型科研设备，作为前级泵的增压单元。

• 核心优势：直连紧凑、大抽速、低真空可启动、维护周期长、适配多前级。

二、核心技术参数（代表型号）

三、核心特点

1. 直连紧凑易集成：电机与泵体直连，占地小、结构刚性强，适配狭小空间与系统集成。

2. 低真空可启动：高强度主轴，可在 ** 低真空（≈10 kPa）** 下直接启动与连续运行，抗负载冲击强。

3. 无油洁净 + 长寿命：真空侧无油污染；非接触式轴封，维护周期比传统型长 2–3 倍；接气面铝合金防锈。

4. 高效节能 + 宽适配：抽速覆盖90–2500 m³/h，可搭配干泵 / 油封泵 / 液环泵作前级，适配不同真空度与气体工况。

5. 稳定可靠 + 低噪震：转子无接触间隙设计，运行平稳、噪音低；适配 **10–40℃** 环境，适合工业连续制程。

四、典型应用

• 半导体 / FPD：PVD/CVD 腔体增压、负载锁 / 传输腔粗抽、刻蚀 / 沉积设备排气。

• 真空镀膜：大型镀膜机高真空增压、玻璃 / 金属镀膜腔体排气。

• 化工 / 制药：高真空蒸馏、脱气、结晶、反应釜排气（非腐蚀工况）。

• 科研 / 大型设备：太空模拟舱、加速器、大型真空腔体、冶金 / 热处理设备。