日本Osaka Vacuum大阪真空 多级罗茨
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日本Osaka Vacuum大阪真空 多级罗茨
日本Osaka Vacuum大阪真空 多级罗茨

• 类型：多级罗茨结构，真空侧无油，仅轴承 / 齿轮少量润滑（90 mL）。

• 用途：TMP 分子泵前级、中小腔体粗抽、含水汽制程排气。

• 优势：风冷免水、常压连续运行、高蒸汽耐受性、低维护。

二、关键技术参数

三、核心特点

1. 无油（真空侧）：避免油污染，适配半导体、镀膜、分析仪器等洁净制程。

2. 强水蒸气耐受：气镇模式500 g/h，适合真空干燥、冻干、含水汽腔体排气。

3. 风冷免水设计：内置风扇，无需冷却水系统，安装灵活、节能、维护简单。

4. 常压连续运行：可从大气压直接启动，抗大气冲击，适合频繁启停与粗抽场景。

5. 稳定抽速 + 低噪音：抽速稳定至接近极限压力；噪音≤65 dB，适配实验室与产线环境。

四、典型应用

• 半导体 / 真空设备：TG 系列 / TG‑M/TGkine 分子泵前级泵、PVD/CVD 设备粗抽、离子源 / 电子枪排气。

• 工业真空：光学镀膜、真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、检漏设备。

• 科研 / 分析：电子显微镜（SEM）、表面分析（XPS）、小型真空腔体、加速器设备。

• 特殊制程：含水汽 / 轻度腐蚀气体排气（可选耐腐蚀密封材质）。