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产品中心Osaka Vacuum大阪真空TG1813日本Osaka Vacuum大阪真空 基础TG 系列
产品型号：TG1813
更新时间：2026-05-07
厂商性质：经销商
访问量：22
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日本Osaka Vacuum大阪真空 基础TG 系列
日本Osaka Vacuum大阪真空 基础TG 系列
全称：Oil‑lubricated Ball Bearing Turbo Molecular Pump（油润滑滚珠轴承涡轮分子泵）。
定位：经济型高真空主力，适配一般工业、科研、腐蚀性气体场景，成本低于磁悬浮 TG‑M/TGkine。
主流型号：
小抽速：TG203 / TG303 / TG403（200–400 L/s）
中抽速：TG600 / TG800 / TG1300 / TG1813（600–1800 L/s）
大抽速：TG2810 / TG3300 / TG5500（2800–5500 L/s）。
衍生型号：TG‑C（耐化学腐蚀型），适配刻蚀、沉积等含氟 / 氯腐蚀性气体制程。
油润滑滚珠轴承：结构简单、成本低、抗冲击强；设计寿命约3–5 万小时，定期换油维护。
宽抽速 + 高压缩比：抽速 200–5500 L/s（N₂），极限真空 **<1×10⁻⁶ Pa**，N₂压缩比1×10⁸，适配轻气体（H₂/He）排气。
任意安装姿态：可垂直、水平、倒置，适配复杂腔体与移动设备。
强耐受性：耐大气冲击，意外破真空不易损坏；抗振动，适合工业生产线。
智能控制 + 工业合规：标配RS232C，控制器 TC 系列；符合CE/NRTL/SEMI‑S2。
| 型号 | 抽速 N₂(L/s) | 极限真空 (Pa) | 转速 (rpm) | 重量 (kg) | 冷却方式 |
|---|---|---|---|---|---|
| TG203 | 200 | <1×10⁻⁶ | 51,000 | 12 | 风冷 |
| TG403 | 400 | <1×10⁻⁶ | 48,000 | 18 | 风冷 / 水冷 |
| TG800 | 800 | <1×10⁻⁶ | 42,000 | 25 | 风冷 / 水冷 |
| TG1300 | 1300 | <1×10⁻⁶ | 42,000 | 32 | 水冷 |
| TG1813 | 1800 | <1×10⁻⁶ | 36,000 | 40 | 水冷 |
| TG2810 | 2800 | <1×10⁻⁶ | 30,000 | 60 | 水冷 |
| TG5500 | 5500 | <1×10⁻⁶ | 24,000 | 110 | 水冷 |
| 对比项 | TG 系列（基础 / 油润滑） | TG‑F（脂润滑） | TG‑M（磁悬浮） |
|---|---|---|---|
| 轴承 | 油润滑滚珠轴承 | 脂润滑滚珠轴承 | 5 轴磁悬浮（无油） |
| 润滑 | 定期换油（维护） | 终身免补脂 | 无油 |
| 振动 | 低（≤0.5 μm） | 低（≤0.5 μm） | 极低（≤0.1 μm） |
| 寿命 | 3–5 万小时 | 5–8 万小时 | >10 万小时 |
| 价格 | 低 | 中 | 高 |
| 适用场景 | 一般工业、腐蚀气体 | 通用高真空、成本敏感 | 超高真空、洁净 / 精密制程 |
半导体：非洁净制程、电子枪排气、离子源、晶圆处理（非 UHV）。
工业真空：光学镀膜、真空热处理、冷冻干燥、检漏设备。
科研：普通分析仪器、电子显微镜（非超高真空）、真空腔体排气。
腐蚀气体：刻蚀、沉积、CVD/PVD 制程（选 TG‑C 耐腐型）。
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