Osaka Vacuum大阪真空 半导体
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成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、型号与核心定位

• 系列：TG‑F（Grease‑lubricated Ball Bearing）

• 定位：高性价比、长寿命、可移动安装的复合分子泵（涡轮 + 螺旋槽）

• 主流型号：TG50F / TG60F / TG450F / TG800F / TG1100F / TG1400F / TG2400F

二、核心特点

1. 任意方向安装：可垂直、水平、倒置，适配移动设备 / 腔体门，设计自由度高。

2. 免维护长寿命：脂润滑密封，无需补脂，大修周期2–3 万小时，设计寿命超10 万小时。

3. 紧凑坚固耐冲击：滚珠轴承抗振动 / 加速度，可承受大气冲击与频繁启停，抗震性强。

4. 无油洁净 + 高抽速：复合结构（涡轮 + 螺旋槽），无油污染，抽速 50–2400 L/s，极限真空 **<1×10⁻⁶ Pa**。

5. 智能控制 + 安全认证：标配RS232C远程通信；符合NRTL/SEMI‑S2/CE，适配半导体产线。

三、关键技术参数（代表型号）

• 共同参数：启动时间 1–7 min；停止时间 1–32 min；入口法兰 VG/ISO‑B/CF；排气口 KF40。

四、典型应用

• 半导体：刻蚀、沉积、离子注入、电子枪排气、晶圆真空吸附。

• 科研仪器：表面分析（XPS/SEM）、质谱仪、同步辐射、真空镀膜。

• 工业真空：真空蒸馏、冷冻干燥、检漏设备、移动真空系统。