DIAVAC大亚真空 罗茨真空泵（机械增压泵） 机械增压泵，严禁独立运行，必须串联前级油封泵（KRP / PZ）组成机组；日系大型真空炉、大容量镀膜设备标配，负责中低真空大流量快速抽气。

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