DIAVAC大亚真空 罗茨真空泵（机械增压泵）
机械增压泵，严禁独立运行，必须串联前级油封泵（KRP / PZ）组成机组；日系大型真空炉、大容量镀膜设备标配，负责中低真空大流量快速抽气。

DIAVAC大亚真空 罗茨真空泵（机械增压泵）
DIAVAC大亚真空 罗茨真空泵（机械增压泵）

一、核心产品特点

1. 泵腔内转子无油润滑，真空侧污染少；齿轮箱独立供油；

2. 双 8 字形转子无接触间隙运转，低振动、低噪音；

3. 小电机实现超大抽速，中真空区间抽速稳定，大幅缩短大腔体粗抽时长；

4. 耐受可凝性水蒸气、工艺挥发气体，真空干燥 / 热处理工况优势明显；

5. 标准法兰：JIS VF 日式法兰，和大亚 VF 系列阀门（LV-K2 / LAV-K2）管路体系匹配；

6. 结构紧凑直联电机；小型 DMB 风冷，中大规格水冷。

重要运行规则：绝对禁止大气压直接启动控制逻辑：前级泵先预抽 → 压力降至允许启动压力 → 再启动 DMB；压差超限会过热、转子咬死。

二、主流型号基础参数（50Hz，原厂规格）

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极限真空（机组搭配双级前级泵）：≈7×10⁻² Pa

三、大亚全系机械泵完整定位对比（汇总你全部收集型号）

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四、两种经典成套排气回路（大亚原厂标准方案）

方案 1：大型腔体粗抽机组（热处理 / 卷对卷镀膜）

腔体 → 粗抽隔断阀 → DMB 罗茨泵 → KRP 摆动柱塞泵作用：快速从大气预抽至 1Pa 区间，缩短抽气节拍。

方案 2：蒸发 / 光学镀膜完整高真空系统

腔体 → 水冷挡板 → 3AW-25 三通阀 → DPA/DPF 扩散泵 → LAV-K2 隔断阀 → PZ 前级泵并行粗抽支路：腔体 → DMB+KRP 机组（快速预抽）

五、选配配件

1. 压差保护开关（联锁保护，防止压差过载）

2. 进气粉尘过滤器（阻挡镀膜溅射粉尘）

3. 减震底座

4. VF 转 KF 法兰转接件（对接 LCAV-KF 系列阀门）

六、运维关键要点

1. 齿轮箱使用 DIAVAC 专用齿轮油，定期更换；泵腔体禁止加注真空泵油；

2. 水冷机型保证冷却水持续供给，防止过热；

3. PLC 时序强制联锁：压力达到阈值才能启动 DMB；停机先停 DMB，再停止前级泵；

4. 环境粉尘大的工况务必加装前置过滤器，避免转子间隙卡异物；

5. 不建议直接串联扩散泵；标准架构：DMB 机组负责预抽，预抽完成后切换至扩散泵回路。

七、典型应用场景

1. 大型真空热处理炉、真空钎焊炉

2. 卷对卷连续镀膜、大面积光学镀膜生产线

3. 变压器线圈真空浸渍、大型真空干燥设备

4. 大容量空间模拟舱、大型科研真空腔体

5. 日系老旧进口真空设备备件替换