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KITZ日本 L型气动真空波纹管隔离阀(自动款 半导体真空腔体标准隔离阀;金属波纹管轴封结构,无填料,杜绝轴向外漏;主要用于真空管路通断隔离,仅全开 / 全关二位动作,原生不带慢抽旁路。
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KITZ日本 L 型真空波纹管阀 应用目标:避免腔体直接全开抽真空产生气流冲击、微粒飞溅,保护晶圆、镀膜基板。
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