KITZ日本 L 型真空波纹管阀
应用目标：避免腔体直接全开抽真空产生气流冲击、微粒飞溅，保护晶圆、镀膜基板。

一、产品概述

标准完整型号范例：IVB40VXA-NWF-(RS)

二、柔性排气（Soft Vent）工作逻辑

1. 程序第一步：旁路阀先开启，微小流量缓慢抽气，腔体压力平缓下降（柔性预抽）；

2. 压力差缩小后；主阀再开启，大流量全速抽真空；

3. 关阀时：主阀先关闭，旁路可独立控制；

   旁路分为两种选型：

• XA：固定流量旁路（出厂设定 Cv，不可调）

• DX：可调流量旁路（外置调节旋钮，现场修改慢抽速率）

  旁路通径标准：1/4"。

三、基础规格参数

1. 可用口径

• IVB25V：25A（NW25）

• IVB40V：40A（NW40，常用）

• IVB80V：80A（NW80）

2. 压力 & 真空范围

• 极限真空：1×10⁻⁶ Pa（绝压）

• 最大承压：0.2 MPa(A)

• 驱动气源：0.4～0.6 MPa 洁净干燥 N₂/ 空气

• 驱动形式：

• CA：弹簧复位 NC 常闭（主流）

• SO：弹簧复位 NO 常开

• DA：双作用

3. 材质配置

• 阀体：SUS304

• 波纹管：SUS316L（金属波纹管，无填料密封，杜绝轴向外漏）

• 主阀阀座：FKM 氟橡胶

• 旁路阀座：FKM / PCTFE 可选

4. 温度规格

• 标准常温款：-15℃ ～ 100℃

• 衍生加热型号 IVBH-V：支持阀体加热器，最高烘烤 180℃

⚠️ IVB-V 无原生 250℃高温版本；高温真空场景选用 IVBHK 系列。

5. 氦泄漏指标

• 阀座内漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 波纹管外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

四、型号编码拆解

1. IVB：L 型角式真空波纹管阀基础系列

2. 40：公称通径 25/40/80A

3. V：内置旁路柔性排气功能（IVB-V 标识）

4. XA / DX：旁路类型

• XA = 固定流量旁路

• DX = 可调流量旁路

5. A/CA/SO/DA：驱动方式

• CA：弹簧复位常闭 NC

• SO：弹簧复位常开 NO

• DA：双作用

6. NWF = NW (KF) 卡箍法兰；另有 MFF (CF 法兰)、VFG (VF 法兰) 可选

7. (RS)：阀位反馈传感器（可选，监控主阀开 / 关）

五、核心优势