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原装MIYUKI美幸辉 BH 二段式气动真空蝶阀
产品简介：

原装MIYUKI美幸辉 BH 二段式气动真空蝶阀
01. 该阀门可在两个位置操作：0 至 45 度和 90 度（打开），从而允许使用单个阀门进行慢速和高速排气。
02. 除了标准的全闭式和全开式气缸外，该系统还具有两级结构，其气缸允许阀门开度在 0 到 45 度的范围内任意设置。
03. 尽管体积小，但气缸打开时推力加倍（确保可靠运行），并在行程末端提供气垫效应（减轻冲击）。

产品型号：BH-I80

更新时间：2026-10-30

厂商性质：经销商

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产品介绍

原装MIYUKI美幸辉 BH 二段式气动真空蝶阀
原装MIYUKI美幸辉 BH 二段式气动真空蝶阀

✅ 核心特点

  1. 两段开度控制：0° 全关 → 0～45°（外部旋钮可调小开度，慢抽 / 缓破空）→ 90° 全开（高速大流导排气），独立两路气源控制

  2. 齿轮齿条驱动，气缸内置气缓冲，启闭冲击小，密封件寿命更长；小型气缸推力放大，大口径动作稳定

  3. 超薄面距设计，同口径流导优异；安装无姿态限制，水平、垂直均可

  4. 洁净装配、低放气低发尘，标配微动开关，可反馈三段位置信号给 PLC 联锁

  5. 全关氦检漏率稳定，反向压差下密封可靠株式会社美...

📋 基础规格

表格

项目参数
驱动方式双气缸两段式气动（齿轮齿条）
口径范围25A～350A（BH 最大 350A，无 400A，400A 仅 B 系列）
法兰规格JIS / ISO / KF (NW) / CF 法兰
工作真空区间10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa
全关漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s
接气材质SUS304 电解抛光
标准密封FKM 氟橡胶 O 圈（阀板 + 轴封）；可选 FFKM Kalrez 耐化学款
气源压力0.4～0.6 MPaG
信号反馈微动开关（位置检出）

型号命名示例：BH-I50、BH-J100、BH-C160、BH-N40BH = 二段式；I=ISO、J=JIS、C=CF、N=KF (NW)；数字 = 公称通径

🏭 行业应用

半导体 PVD/CVD 腔体预抽、破真空；光学真空镀膜机；锂电真空干燥、化成；科研高真空平台；真空炉，保护晶圆 / 薄膜工件，避免气流冲击损伤


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