日本MIYUKI美幸辉 BT系列 杠杆手动真空蝶阀
01. 关闭时，阀体密封。
02. 对安装姿势或安装方向没有限制。
03. 层间距非常薄，因此具有优异的导电性能。
04. 组装和检验在洁净室中进行。

日本MIYUKI美幸辉 BT系列 杠杆手动真空蝶阀
日本MIYUKI美幸辉 BT系列 杠杆手动真空蝶阀

✅ 核心特点

1. 伺服驱动 0~90° 连续开度定位，开度重复精度高，支持开度、动作速度编程设定，兼顾切断与节流调压

2. 支持带压差启动，真空侧 / 大气压存在压差条件下也可正常开启，适配腔体预抽、阶梯泄压工况

3. 电机直联 + 高精度齿轮减速结构，运行低震动低噪音；阀体超薄面距，流导性能优秀

4. 外置角度指示器，肉眼直观读取阀板开度；可选光电传感器做位置检出反馈

5. 洁净室组装氦检，低放气、低发尘；反向压差下密封稳定

6. 老款 BJ3（J3 伺服）已停产，BJ4 为现行替代型号株式会社美...

📋 基础规格

表格

型号命名示例：BJ4-I80、BJ4-J100、BJ4-C160、BJ4-N50BJ4=J4 伺服电动；I=ISO、J=JIS、C=CF、N=KF；数字 = 公称通径

🧩 同家族区分（B / BH / BR / BT / BAR / BJ4）

• B：气动两位：只有全开 / 全关，自动化切断

• BH：二段气动：0°→45° 小开度→90° 全开，快慢抽两段固定工位

• BR：旋转手轮手动：手动无级开度，无自动信号

• BT：杠杆扳把手动：仅全开全关快开

• BAR：普通电机调节：连续可调，经济型电控调压

• BJ4：伺服高精度调节：伺服款，定位精度、动态响应更好，适合半导体精密工艺稳压（BJ3 停产换代）

🏭 行业应用

半导体 PVD、CVD、刻蚀腔体真空压力精密控制；光学真空镀膜；锂电真空化成干燥；科研高真空实验平台；真空炉阶梯泄压，抑制气流冲击保护晶圆、薄膜试样