SURUGA SEIKI日本 JHD高级阻尼气弹簧隔振台
全称：High Grade Damping 高级阻尼空气弹簧除振台（被动气浮隔振台，骏河精机旗舰款）

SURUGA SEIKI日本 JHD高级阻尼气弹簧隔振台
SURUGA SEIKI日本 JHD高级阻尼气弹簧隔振台

✅ 核心结构亮点

1. TMD 调谐质量阻尼内置（Tuned Mass Damping）钢蜂窝光学平板内部自带 TMD 阻尼结构，不光隔绝地面传入振动，同时抑制台面上设备自身激发的共振（激光器、压电、扫描类设备自振）

2. 一体式钢制蜂窝定盘无接缝整板钢蜂窝，全硬化粘接，刚性远优于铝蜂窝；工作面 SUS430 磁性不锈钢，M6 矩阵螺纹孔（25mm 间距标准），适合光学元件、位移台固定

3. 高性能三维空气弹簧（3D 气簧）垂直 + 水平双向隔振，被动隔振；机械式自动水平调节阀，自动调平保水平骏河精机株...

📌 关键性能参数

• 固有频率：垂直≈1.2Hz / 水平≈1.0Hz（标准工况）

• 共振抑制：100–1000Hz 区间共振峰值控制到 0.01 μm/N 以下（JSD 弱于此指标）

• 供气压力：推荐 0.5MPa，供气范围 0.5~0.9MPa

• 隔振类型：被动气浮隔振（非主动）

• 台面：磁性不锈钢面板，黑色涂装侧边

• 支架：标配钢制支撑脚、脚轮（可锁定），方便移位就位

🧪 典型应用场景

半导体光刻 / 检测、飞秒 / 皮秒激光系统、干涉仪、扫描探针显微镜 SPM、精密光学测量、全息实验、高精度晶圆检测、微纳加工设备。