Kashiyama樫山 紧凑型水冷螺杆干式真空泵
定位：设备机载式、超紧凑、低功耗水冷干泵，主打 Loadlock 传输腔、预抽腔洁净抽气；体积小，适合直接装在工艺机台本体上（On-board）

Kashiyama樫山  紧凑型水冷螺杆干式真空泵
Kashiyama樫山  紧凑型水冷螺杆干式真空泵

✅ 核心特点

1. 小型化：同抽速下比 SD/SDE 占地小 35%，可以直接集成在半导体设备机架内部，不占独立泵仓空间

2. 低功耗水冷螺杆结构，同步电机 + 变频，能耗远低于同规格 SDE；全干式无油洁净真空

3. 分为多条子型号分支：

• MU-X / MU-XE：经典基础款，中小抽速，洁净工况为主

• MU-GX：新一代节能款，转子优化，噪音更低

• MUP-E / MUH：新款增强版，带工艺吹扫，耐受轻度腐蚀、少量副产物

4. 标配氮气吹扫接口，轴承保护；支持通讯、报警信号输出，SEMI/CE/NRTL 合规

5. 适用场景偏向洁净、低粉尘、弱腐蚀；不适合大量粉体、强卤素重腐蚀工艺（重腐蚀优先 SDT/SDE-TX）

📌 规格速览

MU-XE（经典紧凑型）

表格

MUP-E / MUH（新款增强）

表格

• 电源：三相 AC200～220V 50/60Hz

• 冷却：水冷

• 入口法兰：KF/NW 为主，按型号选配 ISO

🏭 典型应用

半导体 Loadlock 腔、Transfer 传输腔、预抽腔、小型腔体预抽、晶圆转移真空；洁净、少粉尘、机台内部集成是 MU 的主场