Kashiyama樫山 SDE 立式螺杆干式真空泵
定位：经典主力耐工艺型水冷干式螺杆泵，SD 系列的前代主力机型；针对含溶剂、副产物、卤素腐蚀的半导体工艺，节能、产品线覆盖更广抽速区间

Kashiyama樫山  SDE 立式螺杆干式真空泵
Kashiyama樫山  SDE 立式螺杆干式真空泵

✅ 核心特点

1. 立式螺杆结构、水冷温控，螺杆加热控温抑制副产物冷凝附着，防析出、防堵

2. 特殊防腐涂层 + 材质组合，对 TEOS、金属刻蚀、CVD 沉积副产物耐受性强

3. 螺杆型线优化，相比老款能耗降低约 40%，主打节能量产

4. 标配可调氮气吹扫，保护轴承与转子；自带监测、报警、通讯接口

5. 全干式无油，洁净真空；SEMI/CE 认证，半导体产线适配

6. 后缀区分：X = 标准防腐，TX = 强化防腐版本

📌 型号 & 核心规格（无 N₂吹扫条件）

表格

• 电源：三相 AC200～220V / 380～480V，50/60Hz

• 冷却方式：水冷

• 入口法兰：KF (NW) 系列（NW40 / NW50 / NW80 / NW100 / NW160）

• N₂吹扫：0～60 SLM（可按工艺调整）

⚖️ SDE vs SD 选型对比（重点）

表格

其他家族速记

• SDL：大气抽速强，Loadlock、FPD 面板大腔体

• NeoDry E/G：风冷干式泵，腐蚀轻微、预算低、维护简单

• MU：小型机载式干泵，小腔、设备内置

🏭 典型应用

金属刻蚀、Al/W 刻蚀、PE-CVD、SA-CVD、Metal-CVD、LP-CVD、TEOS 工艺、ALD；也用于溶剂抽除、真空干燥、等离子清洗