Edwards爱德华 GXS 系列｜干式螺杆真空泵
>工业级无油螺杆主泵，中大抽速、可耐受少量粉尘 / 溶剂，半导体、锂电、光伏主力干泵

Edwards爱德华 GXS 系列｜干式螺杆真空泵
Edwards爱德华 GXS 系列｜干式螺杆真空泵

✅ 核心原理 & 特点

变距锥形螺杆、无油干式压缩，真空腔无油，齿轮箱独立润滑，非接触长效轴封，不会油污染工艺腔体

• 自带机载智能控制器：AUC 绿色省电模式、变频调速、自动启停、吹扫自清洁、故障诊断、远程通讯（485），即插即用

• 渐进式压缩设计，温升可控、低振动低噪音

• 支持多种工艺吹扫配置：LD 洁净版 / MD 少量粉尘版 / MD + 多粉尘强吹扫版（入口吹扫、排气吹扫、气镇）

• 水冷机型；可单机使用，也可搭配 EH 罗茨增压泵组成机组（型号后缀 /750、/1750、/2600 就是带罗茨机组）

• 环保：无油雾排放、不用频繁换真空油，维护周期长，适合对油容忍的制程

✅ 主流型号（抽速 m³/h）

表格

后缀说明：F = 防腐版本；CA/RE 等代表密封、吹扫、材质配置包，半导体常用 F 防腐款

✅ 典型应用场景

1. 半导体：刻蚀、沉积、离子注入、晶圆清洗、工艺腔粗抽（取代老式油泵）

2. 新能源锂电：极片干燥、注液前脱气、封装、化成、烘箱真空

3. 光伏：PECVD、镀膜、烧结炉

4. 制药化工：溶剂蒸馏、干燥、结晶（配吹扫带走水汽 / 溶剂）

5. 热处理、钎焊炉、大型镀膜、真空浸渍