EBARA荏原 重制程多级罗茨干式真空泵
EV-M 是荏原专为半导体重腐蚀、大量固体副产物工艺开发的水冷多级罗茨无油干泵

EBARA荏原 重制程多级罗茨干式真空泵
EBARA荏原 重制程多级罗茨干式真空泵

✅ 工作原理

多级罗茨（Lobe Roots）串联压缩，无油干式结构，水冷 + 腔体伴热（Point Heating）。伴热加热泵腔内壁，防止工艺副产物（NH₄Cl、铵盐、粉末）冷凝附着在转子、泵体内壁，这是 EV-M 核心设计，解决盐类结晶卡泵痛点；内置变频智能扭矩 / 转速控制，自适应气体负载波动。介质全程无油接触，不存在油返流污染腔体。

• 驱动：三相 AC380V，内置变频器

• 冷却：水冷（标准）

• 接液材质：基础铸铁；可选镍涂层、镍合金强腐蚀版本

• 控制：本地 LCD 面板，报警日志，SEMI S2 安全规范，支持 Fab PLC 通讯联锁

• 保护：扭矩过载、温度、冷却水流量、泵腔压力多重联锁

🧩 型号后缀含义

• N：标准重制程版本（主流）

• SF：强化耐蚀材质，强腐蚀 / 大量盐类副产物优先选用

• E/R：接液材质区分（SUS / 铸铁）

🛠️ 适用介质 & 典型应用

✅适用：含氯、氟腐蚀性气体；会产生铵盐、固体粉末副产物的工艺气体；H₂、Ar、N₂典型工艺

1. 半导体刻蚀（Poly 刻蚀、金属刻蚀、介质刻蚀）

2. LPCVD、PECVD、HDP-CVD、ALD、RTP

3. 光伏、FPD 重腐蚀沉积制程

核心场景：工艺尾气冷却后容易析出固体盐类、粉末的制程（ESA 不适合这类大量副产物）

❌不推荐：单纯氢气 MOCVD（氢气抽吸优先 ESA）

✅ 优点

1. 泵腔伴热系统，抑制铵盐、副产物冷凝结晶，大幅减少卡泵故障，重制程可靠性强（ESA 无该伴热设计）EBARA

2. 多级罗茨结构，氢气抽速优于螺杆干泵

3. 变频 + Idle 待机节能模式，待机工况降低能耗，TCO 低

4. 可选镍合金 / 镍涂层，适配强腐蚀含卤素气体

5. 立式紧凑结构，Subfab 占地面积小；模块化密封便于维护

6. 完整 SEMI 安全联锁，满足 Fab 安全规范