EBARA荏原 华南代理 多级罗茨干式真空泵
ESA 是日本荏原 EBARA多级罗茨型干式真空泵，水冷式，主打大腔体快速抽真空、氢气 / 轻气抽吸；半导体 MOCVD、外延、Load Lock、LCD、光伏主力机型

EBARA荏原 华南代理 多级罗茨干式真空泵
EBARA荏原 华南代理 多级罗茨干式真空泵

✅ 工作原理

多级罗茨（Lobe Roots）无油干式结构，多组罗茨转子串联逐级压缩，无油、无油返流；水冷降温；搭载智能转子变频调速，根据进气负荷自动调节转速，高气体负载工况自适应。

材质可选 NiResist 耐蚀铸铁，适配含腐蚀前驱体、有机溶剂的工艺尾气。

• 驱动：三相 380V 电源，内置变频控制器

• 冷却：水冷（标准）

• 接口：进气 NW40 / NW50

• 认证：SEMI-S2、CE、NRTL，满足半导体洁净厂房安全规范

• 控制：LCD 本地控制器，支持报警存储、联锁保护，可通讯接入 Fab 设备 PLC

🧩 型号后缀含义

• -D：标准耐蚀版本，MOCVD 标配

• WN：强化防腐材质（NiResist），腐蚀性前驱体优先

• HDF：高流量版本，提升大进气负荷能力

🛠️ 适用介质 & 典型应用

✅适用：H₂氢气、高纯惰性气体；MOCVD 金属有机前驱体、有机溶剂蒸汽；外延 EPI、Load-lock 腔体、LCD 溅射、光伏镀膜、真空干燥❌不推荐：强粉尘、大量颗粒副产物工艺（粉尘工艺选 EV-M）

典型位置

1. MOCVD、EPI 外延设备主真空泵（ESA25-D / ESA70W 行业存量最大）

2. 半导体 / 面板大型 Load Lock 腔快速预抽

3. 光伏、LED 外延腔真空抽吸，氢气工艺优选

✅ 优点

1. 氢气抽吸性能优异，MOCVD、氢基外延优选机型

2. 多级罗茨大抽速，大容积腔体泵 down 速度快，体积紧凑

3. 智能变频转子控制，气量动态自适应，能耗优化

4. 可选 NiResist 耐蚀材质，耐有机前驱体、轻微腐蚀气体

5. 无油干泵，无油返流，洁净度满足半导体要求；带完整安全联锁、故障日志存储

6. 水冷结构，热稳定性好，长时间连续运行可靠，TCO 拥有成本低

⚠️ 使用限制

1. 不适合大量粉尘 / 粉末工艺，粉末易卡滞罗茨转子；粉尘制程推荐荏原 EV-M 系列

2. 需要配套冷却水系统，现场必须供水

3. 属于多级罗茨，极限真空不如螺杆式 EST；侧重中高抽速，非超高真空

4. 尾气含有机前驱体，后端一般搭配尾气处理 / 冷阱