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韩国 TK-FUJIKIN UHP 单级高纯隔膜减压阀
产品简介：

韩国 TK-FUJIKIN UHP 单级高纯隔膜减压阀
RG1 是 TKF 半导体特气柜单级金属隔膜式调压阀，用来稳定下游工艺压力，无切断关断功能

产品型号：DH4RG1-VM-1B0-PX

更新时间：2026-09-23

厂商性质：经销商

访问量：15

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产品介绍

韩国 TK-FUJIKIN UHP 单级高纯隔膜减压阀
韩国 TK-FUJIKIN UHP 单级高纯隔膜减压阀

✅ 工作原理

手轮调节弹簧预紧力，Hastelloy C22 金属隔膜感知出口压力，自动微调阀口开度，依靠力平衡稳压。金属隔膜隔离介质与弹簧腔，无填料、低析出低发尘；属于压力调节元件，不能作为关断阀。

📋 STD 标准型核心技术参数

表格

项目规格
系列RG1（基础款，预留压力表接口）；RG1A（无压力表口，面板紧凑款）
阀体材质SUS316L VAR
隔膜哈氏合金 C22（标配）
阀座PCTFE（STD 标配）；PI 耐高温可选
最大入口压力24.1 MPa（3500 psig）
出口压力量程（可选）0.07~2.1 / 0.07~4.1 / 0.07~6.9 / 0.07~10.3 / 0.07~17.3 MPa（多档弹簧选配）
流体温度PCTFE：-26℃～+80℃；PI：最高 + 175℃
口径1/4"（主力规格）
接口形式VF VCR 母头、VM VCR 公头、BW 自动焊
内表面抛光EP 电解抛光 Ry≤0.25μm（SEMI UHP）；BA 可选
Cv 值0.06~0.2
氦检漏≤1×10⁻¹⁰ atm·cc/sec
洁净等级Class100 无尘装配、DIW 超纯水清洗，低 O₂/H₂O 析出
手轮蓝色调节手轮，可选按压锁定防误调

🧩 型号编码示例

4RG1-VF-2B2

  • 4：1/4"

  • RG1：单级减压阀

  • VF：VCR 母头

  • 2B2：出口压力量程代码

🛠️ 适用介质 & 应用场景

✅适用：高纯 N₂、Ar；腐蚀性 / 自燃特种工艺气体：SiH₄、WF₆、BCl₃、Cl₂等典型位置

  1. 特气柜钢瓶出口 SP 切断阀下游，一级减压稳压

  2. IGS 供气面板、工艺支路压力调节

  3. 半导体、FPD、光伏 UHP 特气系统，对压力稳定性、洁净度高要求回路


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