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产品中心TK-FUJIKIN韩国4S4HPSP-RM-CTK-FUJIKIN 无弹簧金属隔膜阀｜韩国原装
产品型号：4S4HPSP-RM-C
更新时间：2026-09-23
厂商性质：经销商
访问量：12
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普通 PDVN/DVN 隔膜阀内部依靠弹簧复位；SP 系列取消内置复位弹簧。
手动 SP：90° 旋转手柄，凸轮机构下压金属隔膜密封关断；手柄位置可视化开 / 关，可锁闭在关位防误操作
气动 SP：依靠驱动气压直接推动隔膜实现开关；无弹簧疲劳问题，高压工况寿命、稳定性优于普通弹簧隔膜阀
金属隔膜全隔离，介质不接触阀杆，无填料、低析出低发尘，SEMI UHP 高纯标准
表格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 系列 | SP 系列 Springless Diaphragm Valve（无弹簧隔膜阀） |
| 阀体材质 | SUS316L VAR 真空熔炼不锈钢 |
| 隔膜片 | Elgiloy 镍钴合金（标配）；哈氏合金 C22 可定制 |
| 阀座 | PCTFE（STD 标配），PI 耐高温可选 |
| 版本 | 低压型 / 高压型 |
| 低压版耐压 | 17 bar（250 psig） |
| 高压版耐压 | 210 bar（3045 psig）【SP 最大亮点，可用于钢瓶高压特气】 |
| 流体温度 | -23℃～+65℃ |
| 口径 | 1/8"、1/4"（SP 主力小口径，钢瓶阀为主） |
| 接口 | VF VCR 母头、VM VCR 公头、BW 自动焊、SW 双卡套 |
| 内表面抛光 | P=EP 电解抛光 Ry≤0.3μm；BA 可选 |
| Cv 值 | 低压≈0.27；高压≈0.20（小流量，用于钢瓶入口切断） |
| 氦检漏 | He 检漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，SEMI 标准 |
| 驱动类型 | 手动（Round 圆形手柄 / Toggle 拨动手柄，可上锁）；气动 NC 常闭 / NO 常开 |
| 洁净处理 | Class100 无尘装配，DIW 超纯水清洗，低 O₂/H₂O 析出 |
S4SP-VF-L-P
S4：1/4" 阀体
SP：无弹簧隔膜阀系列
VF：VCR 母头
L：Lock 可锁手柄
P：EP 电解抛光
手柄类型代号R：Round 圆形手柄；T：Toggle 拨动手柄；L：带锁闭功能
✅适用：高纯 N₂、Ar；自燃、剧毒、腐蚀性特种气体：SiH₄、WF₆、Cl₂、BCl₃等典型位置
特气柜钢瓶出口高压手动切断阀（高压 SP 版本，钢瓶端隔离）
钢瓶阀下游第一道隔离阀，替代传统高压隔膜阀
微量工艺气支路、取样回路（小 Cv）
半导体、FPD UHP 特气系统，对阀门疲劳寿命要求高的工况
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