韩国TK-FUJIKIN 低压手动阻断隔膜阀
手动阻断 / 截止隔膜阀**，半导体 UHP 特气柜、IGS 面板手动隔离关断阀

韩国TK-FUJIKIN 低压手动阻断隔膜阀
韩国TK-FUJIKIN 低压手动阻断隔膜阀

✅ 工作原理

旋转手轮，阀杆下压推动Elgiloy 镍钴合金金属隔膜压紧阀座实现阻断关断；反向旋起手轮，隔膜回弹，流道导通。介质被金属隔膜隔离，无填料、零外漏风险；属于手动纯机械操作，无需驱动气源，多用于检修隔离、旁路手动切断。

可选：关位锁定机构，锁死防止误开，安全检修常用

🧩 型号编码示例

S4BDVN-VF-P

• S4：1/4" 阀体

• BDVN：手动阻断隔膜阀

• VF：VCR 母头

• P：EP 电解抛光

🛠️ 适用介质 & 应用场景

介质：高纯 N₂、Ar；腐蚀性、可燃性特种电子气体：SiH₄、NF₃、HCl、WF₆、Cl₂等典型位置

1. 特气柜入口 / 出口手动隔离阻断阀，设备检修时切断气源

2. IGS 二次配管、工艺支管旁路手动关断

3. FPD、光伏 UHP 高纯气路，作为安全手动截止阀

✅ 优点

1. 手动操作，不用气动控制气，气路设计简单，故障风险低

2. 金属隔膜结构，极低颗粒、极低析出，适配半导体有毒 / 自燃特气

3. 可加装锁闭，检修安全隔离，符合 Fab 安全规范

4. 低压标准型供货稳定，可与 PSDVN、PDVN 气动阀混用配套

⚠️ 使用限制

1. 人工旋转操作，不能远程自动开关，仅做隔离 / 手动通断，不能做工艺自动切换

2. 仅限低压工况，最大 1.0MPa，不可高压使用

3. 手轮操作不可用来精准调节流量，只做全开 / 全关阻断（不是调节阀）