韩国TK-FUJIKIN 低压双流气动隔膜阀
UHP 超高纯半导体特气专用低压阀，特气柜、IGS 二次配主流阀件，单阀集成两段流量功能，替代 “吹扫阀 + 工艺阀" 两支普通隔膜阀

韩国TK-FUJIKIN 低压双流气动隔膜阀
韩国TK-FUJIKIN 低压双流气动隔膜阀

✅ 工作原理（双流两段核心）

双活塞气动执行器，两路独立驱动控制气

1. 第一段（预开 / 小流量吹扫）：驱动 1 供气，活塞短行程，小开度、低 Cv；缓慢升压、管路置换吹扫，抑制压力冲击，减少管壁颗粒扬起；小流量出厂预设锁死，现场不可随意调节

2. 第二段（全开 / 大流量供气）：驱动 2 供气，活塞全行程，隔膜抬起，达到额定 Cv，正常工艺供气

3. ✔️ 优点

4. 单阀替代 2 支普通隔膜阀，节省柜内空间，减少焊缝、接头与泄漏点

5. 分段升压，有效抑制压力冲击，降低颗粒，提升晶圆良率

6. 全金属隔膜无填料，介质与执行机构隔离，极低析出

7. STD 标准版本供货成熟，备件通用性强，SEMI 合规

8. 关阀：两路驱动气泄压，弹簧复位，金属隔膜压紧阀座密封关断化工仪器网

🧩 型号编码示例

S4PSDVN-VF-C-P

• S4：阀体规格（1/4"）

• PSDVN：双流两段气动隔膜阀系列

• VF：VCR 母头接口

• C：NC 常闭（STD 标准）

• P：EP 电解抛光

🛠️ 适用介质 & 应用场景

介质：高纯 N₂、Ar；腐蚀性 / 易燃易爆特种电子气体（SiH₄、NF₃、HCl、WF₆、Cl₂等）应用

• 半导体 Fab 特气柜、IGS 集成供气面板、工艺气体二次配管

• FPD 面板、光伏电池超高纯气路

• 需要缓慢预吹扫 + 工艺供气一体化的 UHP 管路