日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵
定位：水冷多级罗茨干式真空泵，MU-X 的升级节能版本（MU-XE / MU-GX 同平台），主打机台内置式（On-board Pump），小型化、超低功耗，面向半导体洁净 / 轻度严苛制程
结构：多级无油罗茨，泵腔无油；转子与腔体做防腐强化，相比 MU-P/H 更耐副产物；相比老款 MU-X 进

日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵
日本Kashiyama热卖 水冷多级罗茨干式真空泵

✅ 核心特点

1. 行业同抽速等级低功耗，搭载同步电机 + 专用逆变器，比上代 MU-X 节电明显，长期量产电费优势突出

2. 超紧凑体积，占地面积极小，专为机台内部嵌入集成设计，节省设备空间

3. 水冷结构，24h 连续量产运行；标配氮气吹扫，抑制工艺副产物沉积；可配多种吹扫控制选项

4. 无油干式结构，泵腔无润滑油，不会污染晶圆，洁净真空

5. 符合 SEMI S2、CE，3 相宽电压 AC200~220V / AC380~440V，50/60Hz 自适应

6. 低振动低脉动，方便机台内置；自带通讯接口，支持上位机监控

📋 MU-XE 型号规格总表（无 N₂吹扫条件）樫山工业

表格

同平台还有 MU180GX（3000 L/min），GX 为同平台衍生型号，参数：3000 L/min，极限 1.5Pa，95kg，550×280×299mm

🧪 典型应用场景

1. 半导体：Loadlock 腔、传送腔（Transfer Chamber）预抽，PVD 溅射、轻度蚀刻、等离子清洗

2. FPD / OLED 面板制程腔体排气

3. 机台内置式真空系统，设备集成空间受限项目优选