日本Kashiyama热卖 专为大尺寸晶圆FPD/OLED
定位：水冷式【罗茨增压 + 主干泵一体式机组】，大抽速干式真空泵，专为大尺寸晶圆、FPD/OLED 的 Loadlock 腔体设计，主打大气快速抽气、缩短腔体 cycle time
原理：内置机械增压罗茨 booster + 多级罗茨干泵一体集成，不是单纯单级干泵；大腔体从大气压快速抽到中真空

日本Kashiyama热卖 专为大尺寸晶圆FPD/OLED
日本Kashiyama热卖 专为大尺寸晶圆FPD/OLED

✅ 核心特点

1. 一体式 Booster + 干泵集成，整机成套供货，不用现场单独搭配增压泵，大幅简化管路与控制

2. 极限压力 0.8 Pa，大流量快速抽气，缩短 Loadlock 腔体的抽气循环时间，提升机台产能

3. 水冷结构，适合 24h 连续量产；标配氮气吹扫，抑制副产物沉积；可多台并联组合，总抽速做到150,000 L/min 以上，满足超大腔体需求

4. 低脉动、低振动，内置变频器，3 相宽电压：AC200~220V / 380~440V，50/60Hz 自适应，符合 SEMI S2

5. 维护周期长，适合洁净量产环境；整机模块化，方便现场维保

📋 SDL 型号规格表

表格

备注：最大抽速 = 增压罗茨全开的峰值抽速；底层主泵是 booster 停止时的基础抽速；参数为无 N₂吹扫条件下的数据樫山工业

🧪 典型应用场景

• 半导体：12 寸大晶圆 Loadlock 腔、传送腔快速预抽（SDL 最主力场景）

• FPD / OLED：大玻璃基板腔体抽气、面板 PVD / 等离子清洗前预抽

• 大型真空腔体、真空镀膜、真空测试舱、大型中央真空系统