MKS美国 ISO-KF 真空法兰转 CF 法兰适配器
- 本体：304 不锈钢（标准），可选 304L 低碳不锈钢
- 表面处理：脱脂真空清洗，去毛刺
- 配套密封件：KF 端氟橡胶 Viton O 型圈 + KF 中心环；CF 端无氧铜垫片

MKS美国 ISO-KF 真空法兰转 CF 法兰适配器
MKS美国 ISO-KF 真空法兰转 CF 法兰适配器

✅ 产品概述

异标准法兰直通转接件，一端 ISO-KF 无性别快拆法兰，另一端 ConFlat CF 刀口法兰；用于高真空管路（KF）与 UHV 超高真空腔体 / CF 管路之间过渡对接。

⚠️ 关键限制：KF 侧依靠橡胶 O 圈密封，整个适配器链路最高仅高真空，无法实现全段 UHV；仅 CF 侧本身支持 UHV，该转接件一般用于 UHV 腔体向外引出粗抽 / 前级 KF 管路。

✅ 材质构成

• 本体：304 不锈钢（标准），可选 304L 低碳不锈钢

• 表面处理：脱脂真空清洗，去毛刺

• 配套密封件：KF 端氟橡胶 Viton O 型圈 + KF 中心环；CF 端无氧铜垫片

✅ 工况参数

• 真空等级：高真空 HV（受 KF 橡胶 O 圈限制，不能整段 UHV）

• 耐温区间：-196℃ ~ +200℃（O 圈限制，不能高温烘烤除气）

• 法兰特性：KF 为可旋转无性别法兰；CF 刀口法兰不可旋转

• 出厂检漏：氦检，本体漏率＜10⁻⁹ std・cc/s

✅ 核心特点

1. 实现两套真空标准互联：KF 快速拆装管路 ↔ CF 超高真空腔体

2. 一体机加工成型，流道平滑，流阻低

3. Series31 标准 KF 接口，兼容 MKS 全部 KF 波纹管、直管、阀门

4. CF 刀口符合 Series88 标准，兼容市面所有品牌 CF 法兰组件

5. 装配简单：KF 侧卡箍锁紧，CF 侧螺栓压紧铜垫片

✅ 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体 UHV 腔体前级粗抽管路引出（CF 腔体→KF 前级泵管路）

2. 科研表面分析设备、离子束设备：UHV 腔体外接检漏口、预抽支管

3. 真空镀膜设备，高真空与超高真空分区过渡接口