MKS美国 CF 超高真空法兰转公头 VCR 适配器
- CF 法兰本体：304 不锈钢
- VCR 公头接触面：316L 不锈钢（高纯电解抛光 EP）
- 工艺：UHV 级脱脂清洗、真空洁净封装，低放气
- 密封件：CF 端无氧铜垫片；VCR 端金属垫片（镍 / 不锈钢垫片可选）

MKS美国 CF 超高真空法兰转公头 VCR 适配器
MKS美国 CF 超高真空法兰转公头 VCR 适配器

✅ 产品概述

Series88 UHV 转接接头，一端为 Conflat CF 无性别刀口法兰，另一端公头 Male VCR 凸起球面金属密封接头，用于超高真空腔体、CF 管路向外引出高纯工艺气路；全程金属密封，无橡胶件，支持高温烘烤除气，半导体 UHV 腔体进气口常用。

VCR 公头球面压紧金属垫片，对接 VCR 母头；CF 法兰依靠铜垫片刀口密封，整套满足 UHV 超高真空等级。

✅ 材质构成

• CF 法兰本体：304 不锈钢

• VCR 公头接触面：316L 不锈钢（高纯电解抛光 EP）

• 工艺：UHV 级脱脂清洗、真空洁净封装，低放气

• 密封件：CF 端无氧铜垫片；VCR 端金属垫片（镍 / 不锈钢垫片可选）

✅ 工况参数

• 真空等级：UHV 超高真空，可达＜10⁻¹³ Torr

• 使用温度：-196℃ ~ +500℃，可高温烘烤除气

• 法兰特性：CF 无性别刀口法兰，通孔螺栓锁紧，法兰不可旋转

• 出厂检测：氦检漏，本体漏率＜10⁻¹⁰ std・cc/s

✅ 核心特点

1. UHV 洁净 EP 抛光，低析出、低放气，适配高纯特种气体

2. 双金属密封结构，不含橡胶 O 圈，支持反复烘烤

3. CF 无性别刀口法兰，兼容市面所有品牌标准 CF 法兰腔体、波纹管、直管

4. VCR 公头球面标准，可直接配合 VCR 母头 + 金属垫片拆装

5. 同属 Series88 全系列 UHV 管件，可与 CF 法兰、异径、波纹管配套搭建整套真空管路

✅ 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体：刻蚀、PVD/CVD 腔体工艺进气口、UHV 腔体气体引入转接

2. 表面分析设备、离子束系统、科研超高真空腔体

3. 高纯气体、腐蚀性工艺气体超高真空管路接口