MKS美国 CF UHV 法兰转母头 VCR 适配器
- CF 法兰本体：304 不锈钢（标准）
- VCR 母头接头：316L 不锈钢（高纯流体接触面）
- 工艺：UHV 级电解抛光、脱脂清洗、洁净封装
- 密封：CF 端铜垫片刀口密封；VCR 端金属垫片密封

MKS美国 CF UHV 法兰转母头 VCR 适配器
MKS美国 CF UHV 法兰转母头 VCR 适配器

✅ 产品概述

Series88 UHV 转接件，一端为 Conflat CF 刀口法兰（无性别刀口密封），另一端母头 Female VCR 金属面密封接头，用来在超高真空腔体上引出高纯气体管路，实现 CF 刀口法兰与 VCR 金属垫片密封管路的过渡，半导体、超高真空分析腔体常用。

VCR 依靠金属垫片密封，无橡胶 O 圈，支持高温烘烤，适配 UHV 系统。

✅ 材质构成

• CF 法兰本体：304 不锈钢（标准）

• VCR 母头接头：316L 不锈钢（高纯流体接触面）

• 工艺：UHV 级电解抛光、脱脂清洗、洁净封装

• 密封：CF 端铜垫片刀口密封；VCR 端金属垫片密封

✅ 核心规格（常用）

CF 法兰规格：1.33"（CF16） / 2.125"（CF25） / 2.75"（CF35） / 3.375"（CF63）VCR 母头尺寸：1/4"VCR（4VCR）、1/2" VCR（8VCR）、3/4" VCR（12VCR）

标准零件号示例

1. 1.33"CF（CF16）转 1/4" 母 VCR：100881049

2. 2.125"CF（CF25）转 1/4" 母 VCR：100882032

3. 2.125"CF（CF25）转 1/2" 母 VCR：100882033

✅ 工况参数

• 真空等级：超高真空 UHV，可达＜10⁻¹³ Torr

• 耐温：-196℃ ~ +500℃，可整体高温烘烤除气

• 法兰类型：CF 无性别刀口法兰，通孔螺栓安装，法兰不可旋转

• 出厂检漏：氦检，本体漏率＜10⁻¹⁰ std・cc/s

✅ 核心特点

1. UHV 级洁净处理，低放气、低析出，适配高纯工艺气体

2. 双金属密封结构，全程无橡胶件，支持烘烤，是半导体气体管路标配

3. CF 刀口法兰标准化，直接螺栓锁附在腔体、CF 直管、CF 波纹管上

4. VCR 母头可直接对接 VCR 公头 + 金属垫片，拆装方便，可反复拆装

5. Series88 整套 UHV 管件兼容，可与同系列 CF 法兰、异径、波纹管配套使用

✅ 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体：PVD/CVD/ 刻蚀腔体，腔体侧面 / 顶部气体进料口转接高纯 VCR 气管

2. 超高真空科研腔体、表面分析设备、离子束系统

3. 高纯气体、腐蚀性工艺气体 UHV 管路引出接口