MKS美国 对接焊 304 不锈钢真空管
- 管材本体：304 不锈钢（标准），可选 304L 低碳版；316L 可按需定制
- 工艺：焊接 + 拉制 + 固溶退火，减少焊接应力，提升可焊性、降低腐蚀敏感点
- 表面：真空洁净处理，脱脂清洗、干燥，两端防尘保护盖封装

MKS美国 对接焊 304 不锈钢真空管
MKS美国 对接焊 304 不锈钢真空管

✅ 产品概述

Series23 对接焊真空直管，原材料为拉制退火 304 不锈钢（可选 304L，316L 可定制），管材端部预处理、去毛刺、真空级洁净清洗，两端为平口对接焊坡口，现场使用氩弧焊（TIG 无填丝熔焊）对接，最大限度减少橡胶密封点、降低系统总漏率。配套同系列弯头、三通、异径、端盖等焊接管件，整套管路统一真空工艺标准MKS

✅ 材质构成

• 管材本体：304 不锈钢（标准），可选 304L 低碳版；316L 可按需定制

• 工艺：焊接 + 拉制 + 固溶退火，减少焊接应力，提升可焊性、降低腐蚀敏感点

• 表面：真空洁净处理，脱脂清洗、干燥，两端防尘保护盖封装

✅ 核心规格

1. 外径范围：1/2"~ 10"（英寸系列，适配国际真空管路标准）

2. 标准壁厚：0.065in / 0.083in 等多种壁厚可选

3. 标准单根长度：120 英寸（10ft=3048mm），可按需求切割短管

4. 连接方式：对接焊 Buttweld，推荐无填充焊丝 TIG 熔焊；支持轨道自动焊

5. 出厂检验：全件氦检，低放气认证

✅ 工况参数

• 适用真空等级：高真空，部分规格可满足 UHV 超高真空（搭配 CF 金属密封法兰）

• 使用温度：-196℃ ~ +450℃，可烘烤除气（UHV 场景）

• 漏率：单根管材本体漏率＜10⁻¹⁰ std・cc/s

✅ 核心特点

1. 低放气：退火 + 真空清洗，适合半导体、薄膜工艺高洁净真空管路

2. 可焊性优良：退火处理，焊接不易开裂，适配自动轨道焊

3. 化学耐腐蚀：304 基材适配大多数工艺气体；腐蚀工况升级 316L

4. 管路一体化：直管 + 同系列焊接管件现场对接，减少可拆卸密封接头，降低泄漏风险

5. 兼容性强：可对接 MKS Series31（ISO-KF）、Series88（CF 超高真空法兰）、ISO-MF 大法兰组件

✅ 行业应用 & 工艺场景

1. 半导体设备：工艺腔体、刻蚀、PVD/CVD 设备真空主管路、高真空固定管线

2. 真空镀膜、离子束设备、科研超高真空腔体

3. 需要高温烘烤除气、对总漏率要求严苛的真空系统