Vatvalve瑞士 64.2 高压控制闸阀
对标准真空工艺进行可靠、精确的控制

Name: Vatvalve瑞士 64.2 高压控制闸阀64240-PECC
Brand: Vatvalve
Price: 2888 CNY
Availability: InStock

产品型号：64240-PECC

更新时间：2026-09-03

厂商性质：经销商

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Vatvalve瑞士 64.2 高压控制闸阀
Vatvalve瑞士 64.2 高压控制闸阀

对标准真空工艺进行可靠、精确的控制

64.2 HV 控制闸阀专为半导体生产中溅射或蚀刻等高循环真空工艺的可靠、精确控制和隔离而设计。它满足耐用性、模块化和易维护性的标准要求，尤其注重高正常运行时间和低拥有成本。

64.2 型阀门配备了 VATLOCK 技术，可在阀板处实现无摩擦的可靠密封。阀板起到节流元件的作用，调节阀门的开度。内置压力控制器计算出达到设定压力所需的阀板位置。步进电机驱动阀板运动，编码器则监控阀板位置。这确保了快速、精确的过程压力控制。特殊的 VATLOCK 锁定机构在阀门关闭时可确保密封，并在断电情况下实现故障安全关闭。

64.2 型真空控制闸阀已在数千个严苛的应用环境中安装使用，并在各种工艺条件下证明了其优秀的可靠性。凭借其坚固耐用的设计，它满足高循环真空控制闸阀的所有要求。

64.2 HV 控制闸阀的主要特点

特征：

可靠、成熟的设计
VATLOCK技术
坚固的不锈钢机身
高循环设计

好处：

可靠、精确的控制和隔离性能
延长免维护周期
拥有成本低

技术数据

尺寸		DN 100 (4英寸)、DN 160 (6英寸)、DN 200 (8英寸)、DN 250 (10英寸)、 DN 320 (12英寸)、DN 350 (14英寸)、DN 400 (16英寸)
执行器		集成压力控制器和步进电机
身体材料		不锈钢
馈通		旋转式进给
标准法兰		ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
泄漏率	阀体、阀座	< 1 × 10 -9 mbar ls -1
压力范围	DN 100 – 200 DN 250 – 400	1 × 10 -8 mbar 至 2 bar (abs) 1 × 10 -8 mbar 至 1.2 bar (abs)
闸门上的压差（关闭状态）	DN 100 – 200 DN 250 – 400	≤ 2 bar ≤ 1.2 bar
开口处的压差		≤ 30 毫巴
第一次保养前的周期数1)	压力控制关闭/开启	120 万
温度	阀体控制器	≤ 150°C 最高 50°C（建议 ≤ 35°C）
材料	阀体，阀门	AISI 304 (1.4301)
	机制	AISI 301 (1.4310)、AISI 304 (1.4301)、 AISI 420 (1.4034)、AISI 420D (1.4037)、 AISI 430 (1.4016)
海豹	引擎盖、闸门、馈通	FKM
安装位置	DN 100 – 350 DN 400	任意水平方向
阀门位置指示		视觉（机械式和控制器式）