18825222238
18825222238
产品中心
当前位置：首页
产品中心Vatvalve瑞士61632-KECHVatvalve瑞士 61.6 HV 蝶形控制隔离阀
产品型号：61632-KECH
更新时间：2026-09-03
厂商性质：经销商
访问量：11
服务热线
产品分类
Vatvalve瑞士 61.6 HV 蝶形控制隔离阀
Vatvalve瑞士 61.6 HV 蝶形控制隔离阀
61.6 HV 控制蝶阀具有良好的压力控制和隔离性能。凭借其快速精准的动作控制器（0.45 秒），它是 CVD 工艺中精细控制和隔离的理想解决方案。阀板起到节流作用，调节阀门的开度。61.6 的集成压力控制器能够计算出所需的阀板位置，从而以最快的速度达到设定的压力。
61.6系列隔离功能专为避免蝶阀常见的密封件磨损过高的问题而设计。凭借其偏置阀板轴以及阀体和密封座的特殊几何形状，最大限度地减少了密封摩擦，提高了密封性能。
61.6系列产品已在数千个严苛的应用环境中成功安装，并在各种工艺条件下证明了其优秀的可靠性。凭借其坚固耐用的设计、直接安装方式以及便捷的维护特性，61.6系列产品在各个方面都表现出色。
61.6 系列真空泵在本体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、密封材料、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软泵）等方面提供了多种设计选择，简化了其在各种真空应用中的集成。
特征：
优异的压力控制和隔离性能
运行速度非常快
用于本地操作的机载软件
在严苛的工艺条件下也能可靠运行
好处：
更好的过程可控性
高正常运行时间/无限制性能
运营成本低
| 尺寸 | DN 40 (1 ½")、DN 50 (2")、DN 63 (2 ½")、 | |
|---|---|---|
| 执行器 | 集成控制器，带步进电机，磁场定向控制（FOC） | |
| 身体材料 | 硬质阳极氧化铝或不锈钢 | |
| 标准法兰 | ISO-KF，ISO-F | |
| 泄漏率：阀体 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 | < 1 × 10⁻⁵ mbar ls⁻¹ < 1 × 10⁻⁹ mbar ls⁻¹ |
| 泄漏率：阀座 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 | < 1 × 10⁻⁴ mbar ls⁻¹ < 1 × 10⁻⁹ mbar ls⁻¹ |
| 压力范围 | 硬质阳极氧化铝 不锈钢 | < 1 × 10 -6 mbar 至 1.2 bar (abs) < 1 × 10 -8 mbar 至 1.2 bar (abs) |
| 第一次保养前的周期数1) | 压力控制 隔离 | 200万 25万（第纳尔 40 - 50） 10万（第纳尔 63 - 100） |
| 温度 | 阀体 控制器 | ≤ 120 °C 最高 50°C（建议 ≤ 35 °C） |
| 材料 | 铝制阀体/阀板； 不锈钢阀体/阀杆 | EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L（1.4404 或 1.4435） |
| 海豹 | 板式 馈通 | FKM FKM |
| 馈通 | 旋转式进给 | |
| 安装位置 | 阀座朝向腔室 |
1） 最大值取决于运行条件和密封材料
关于我们
公司简介 企业文化 荣誉资质产品分类
ULVAC 爱发科 代理品牌 EBARA荏原 华南一级代理 Kashiyama樫山优势品牌新闻文章
新闻中心 技术文章联系我们
联系方式 在线留言 地图导航深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷7号3层
wl@tamasaki.com
扫码加微信
Copyright © 2026玉崎半导体（深圳）有限公司 All Rights Reserved 工信部备案号：粤ICP备2026042622号
技术支持：化工仪器网 管理登录 sitemap.xml
上一个：
返回列表
