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MKS美国 946 真空系统控制器
产品简介:

MKS美国 946 真空系统控制器
946 是一款功能全面的半机架式真空计测量和控制系统。它可为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数,并可选配压力控制功能。这款高度灵活的真空系统控制器支持多种传感器技术,包括 Baratron 电容式压力计、冷阴极传感器、热阴极传感器、标准皮拉尼真空计和对流皮拉尼真空计,测量范围从超高真空到高于大气压。

产品型号:946-US-NANANA-NA

更新时间:2026-08-18

厂商性质:经销商

访问量:11

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产品介绍

MKS美国 946 真空系统控制器
MKS美国 946 真空系统控制器

规格

  • 测量范围
    10,000 Torr 至 10 -11 Torr(取决于传感器类型)
  • 展示
    320x240 彩色 QVGA TFT LCD 背光显示屏
  • 前面板控制
    电源开关、设置和操作命令均可通过键盘访问。
  • 单位
    压力:托 (Torr)、毫巴 (mbar)、帕斯卡 (Pa);
    流量:标准立方米/分钟 (sccm) 和标准升/分钟 (slm)。
  • 电源要求
    100-240伏交流电,50/60赫兹,最大功率150瓦
  • 模拟输出
    每个通道均可提供缓冲输出、对数线性输出和线性输出,组合通道还可提供对数线性输出。
  • 设定点接触额定值
    2安培 @ 30伏交流电
  • 设定点配置
    十二个压力相关单刀单掷设定点继电器
  • 工作温度
    5-40°C (41-104°F)
  • 储存温度
    10-55°C (50-131°F)
  • 安装
    半机架,2U高,13英寸深
  • 重量
    8磅(3.6公斤)
  • 遵守
    CE,NRTL


特征

高灵活性真空系统控制器

这款高度灵活的真空系统控制器支持多种传感器技术,包括 Baratron® 电容式压力计、冷阴极传感器、热阴极传感器、标准皮拉尼传感器和对流皮拉尼传感器,测量范围从超高真空到高于大气压。此外,946 系列控制器还能监控和控制 MKS I 型、G 型或 P 型质量流量控制器以及传统质量流量控制器和 MKS 压力控制阀。

传感器之间的内部通信

传感器卡之间的内部通信可提供多达三个传感器的组合输出,从而实现连续压力读数。内部控制功能可自动控制离子计,防止其在高压下意外通电。946 系列还提供用于外部信号和控制的设定点继电器,并可配置为提供上游或下游系统压力控制。串行通信和独立的模拟输出也是标准配置。

十二个可编程设定点继电器

946系列提供十二个用户可编程设定点继电器,具有可调滞后特性,三个卡槽各分配四个。模拟输出可编程为线性刻度、对数刻度或设定点,并可分配给六个传感器通道中的任意一个。

数字PID压力控制

安装阀门驱动卡后,即可利用MKS气体比例阀或排气节流阀实现快速、精确的闭环数字PID压力控制。此外,还可以利用质量流量控制器和工作在比例模式下的MFC卡实现上游压力控制。

兼容的压力传感器

  • Baratron® 电容式压力计,提供 0 至 10 VDC 输出

  • MKS 皮拉尼传感器

  • MKS对流皮拉尼传感器

  • 423、431 和 422 系列冷阴极电离传感器

  • 裸式和MIG型热阴极电离传感器

兼容的质量流量控制器

  • Mass-Flo® 质量流量控制器

  • G、I 和 P 系列质量流量控制器

  • 传统质量流量控制器

  • 任何需要±15VDC或+15至+24VDC、0-5VDC设定点以及标准15针或9针D-sub电缆连接的MFC

兼容的压力控制阀

  • 248A、148J、154A 电磁控制阀

  • 153D 和 T3Bi 排气节气门



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