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产品型号:946-US-NANANA-NA
更新时间:2026-08-18
厂商性质:经销商
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MKS美国 946 真空系统控制器
MKS美国 946 真空系统控制器
这款高度灵活的真空系统控制器支持多种传感器技术,包括 Baratron® 电容式压力计、冷阴极传感器、热阴极传感器、标准皮拉尼传感器和对流皮拉尼传感器,测量范围从超高真空到高于大气压。此外,946 系列控制器还能监控和控制 MKS I 型、G 型或 P 型质量流量控制器以及传统质量流量控制器和 MKS 压力控制阀。
传感器卡之间的内部通信可提供多达三个传感器的组合输出,从而实现连续压力读数。内部控制功能可自动控制离子计,防止其在高压下意外通电。946 系列还提供用于外部信号和控制的设定点继电器,并可配置为提供上游或下游系统压力控制。串行通信和独立的模拟输出也是标准配置。
946系列提供十二个用户可编程设定点继电器,具有可调滞后特性,三个卡槽各分配四个。模拟输出可编程为线性刻度、对数刻度或设定点,并可分配给六个传感器通道中的任意一个。
安装阀门驱动卡后,即可利用MKS气体比例阀或排气节流阀实现快速、精确的闭环数字PID压力控制。此外,还可以利用质量流量控制器和工作在比例模式下的MFC卡实现上游压力控制。
Baratron® 电容式压力计,提供 0 至 10 VDC 输出
MKS 皮拉尼传感器
MKS对流皮拉尼传感器
423、431 和 422 系列冷阴极电离传感器
裸式和MIG型热阴极电离传感器
Mass-Flo® 质量流量控制器
G、I 和 P 系列质量流量控制器
传统质量流量控制器
任何需要±15VDC或+15至+24VDC、0-5VDC设定点以及标准15针或9针D-sub电缆连接的MFC
248A、148J、154A 电磁控制阀
153D 和 T3Bi 排气节气门
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