MKS美国 对流增强型皮拉尼真空压力传感器
317型对流增强型皮拉尼真空传感器是通用型真空计，适用于高达1000托的前级压力测量。它们可应用于众多工业领域，例如半导体制造、负载锁定、泄漏检测、真空镀膜和冷冻干燥机。317型对流增强型皮拉尼真空传感器的耐高温和耐辐射版本适用于高能物理应用。

MKS美国 对流增强型皮拉尼真空压力传感器
MKS美国 对流增强型皮拉尼真空压力传感器

317型对流增强型皮拉尼真空传感器是通用型真空计，适用于高达1000托的前级压力测量。它们可应用于众多工业领域，例如半导体制造、负载锁定、泄漏检测、真空镀膜和冷冻干燥机。317型对流增强型皮拉尼真空传感器的耐高温和耐辐射版本适用于高能物理应用。

• 适用于前线测量和真空控制

• 测量范围： 1.0 x 10⁻³至 1000 Torr

• 提供可烘烤和抗辐射版本

• 低成本、坚固耐用的设计
  
  

• 规格

• 工作温度

  0°至50°C（32°至122°F）
• 烘烤温度

  100°C 时，无电缆和电子元件将无法工作。
• 裸露材料

  304不锈钢、镍200、玻璃、铂金
• 内部容积

  8.0 毫升
• 重量

  0.5 磅（0.2 千克），带 2¾ 英寸 CF 法兰时为 1.34 磅（0.52 千克）
• 传感器类型

  对流增强型皮拉尼
• 测量范围

  1.0 x 10⁻³ 至 1.0 x 10⁺³ 托
  1.3 x 10⁻³ 至 1.3 x 10⁺³ 毫巴
  1.3 x 10⁻¹ 至 1.3 x 10⁺⁵ 帕斯卡
• 设定点范围

  2.0 x 10⁻³ 至 9.5 x 10⁺² 托
  2.7 x 10⁻³ 至 1.2 x 10⁺³ 毫巴
  2.7 x 10⁻¹ 至 1.2 x 10⁺⁵ 帕斯卡
• 解决

  指示十年的1%。
• 可重复性

  指示压力的 5%
• 连接器

  9针D型