MKS美国 910 压电真空压力传感器
专为宽范围压力测量应用而设计的910型传感器，融合了压电式和微型皮拉尼;传感器技术。与传统的热导式压力计相比，其组合输出具有更高的精度、稳定性、重复性和更快的响应速度。

Name: MKS美国 910 压电真空压力传感器910-22034
Brand: MKS/美国
Price: 2888 CNY
Availability: InStock

产品型号：910-22034

更新时间：2026-08-18

厂商性质：经销商

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MKS美国 910 压电真空压力传感器
MKS美国 910 压电真空压力传感器

规格

绝对测量范围
1.0 x 10 -5至 1,500 托
数字通信
RS485/RS232（4800-230400 波特）
传感器
第一类：微型皮拉尼（MEMS热导率）
第二类：压电绝对式（MEMS隔膜）
接力赛
3 个单刀双掷继电器（可选）
安装指南
任何
设定点范围
绝对压力：5.0 x 10⁻⁴至1,500 托
校准气体
空气、氩气、氦气、氮气、氢气、水蒸气、二氧化碳、氙气、氖气
工作温度
0-40°C (32-104°F)
最高烘烤温度
85°C (185°F)，非工作温度
数字控制
零点调整、量程调整、模拟输出、压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、设定点功能：值、滞后、方向、使能、传感器状态、开关、LED 测试
数字状态
压力读数、单位、设定点、运行时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商
模拟输出
1-9.2 VDC，1 VDC/十倍频程，最大输出阻抗 100Ω（绝对压力）
模拟输出分辨率
16 位
继电器触点额定值
1 A @ 30VAC/DC，阻性负载
接力响应
最大 100 毫秒
电源要求
9-30伏直流电，150毫安，最大功率小于1.2瓦
准确性
5 x 10⁻⁴至 1 x 10⁻³ Torr，读数的 ±10%；
1 x 10⁻³至 11 Torr，读数的 ±5%；
11 至 1000 Torr，读数的 ±0.75%。
重复性
5 x 10⁻⁴至 10⁻³ Torr，读数的 ±8%；
10⁻³ Torr 至 11 Torr ，读数的 ±2%；
11 至 1000 Torr，读数的 ±0.2%。
超压限制
2250 托（绝对压力）
内部容积
2.8 cc (KF16)
裸露材料
硅、二氧化硅、氮化硅、金、低挥发性环氧树脂、304不锈钢、Viton®
电子外壳和法兰
304不锈钢
重量
170 克（带 KF 16 法兰）
遵守
中央电气