MKS美国 925微型皮拉尼真空压力传感器
925 Micro Pirani™ 真空传感器是一款基于独特的微机电系统 (MEMS) 真空传感器的热导真空计。925 Micro Pirani™ 提供模拟电压输出、数字接口和设定点继电器，用于过程控制。

Name: MKS美国 925微型皮拉尼 真空压力传感器925-11014
Brand: MKS/美国
Price: 2888 CNY
Availability: InStock

产品型号：925-11014

更新时间：2026-08-18

厂商性质：经销商

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MKS美国 925微型皮拉尼真空压力传感器
MKS美国 925微型皮拉尼真空压力传感器

规格

数字通信
RS485/RS232（4800 至 230400 波特）
传感器
MicroPirani™（MEMS热导率）
接力赛
3个单刀双掷继电器（可选）
安装指南
任何
测量范围
1.0 x 10⁻⁵ Torr至大气
设定点范围
5.0 x 10⁻⁴ Torr至 500 Torr
校准气体
空气、氩气、氦气、氮气、氢气、水蒸气、二氧化碳、氙气、氖气
工作温度
0°至40°C（32°至104°F）
最高烘烤温度
85°C (185°F)，非工作温度
数字控制
零点调整、大气压调整、压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、气体类型；设定点功能：值、滞后、方向、启用模拟输出、传感器状态、开关、LED 测试
数字状态
压力读数和单位、设定点、运行时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商
模拟输出
1 至 9 VDC，最大输出阻抗 100Ω，每十倍频程 1 伏
模拟输出分辨率
16 位
继电器触点额定值
1 A @ 30VAC/DC，阻性负载
接力响应
最大小于100毫秒
电源要求
9 至 30 伏直流电，最大功率小于 1.5 瓦
准确性
5 x 10⁻⁴至 10⁻³ Torr，读数的±10%；
10⁻³至 100 Torr，读数的±5%；100 Torr 至 atm，读数的±25% 。
重复性
10⁻³至 100 Torr ± 读数的 2% 。
超压限制
3000托绝对压力
内部容积
（KF16）2.80 cc
裸露材料
304不锈钢、硅、二氧化硅、氮化硅、金、氟橡胶®、低挥发性环氧树脂
电子外壳和法兰
304不锈钢
重量
170 克 (KF 16)
遵守
中央电气

特征

微型皮拉尼™传感器技术

925型传感器基于热导率测量，测量范围从1×10⁻⁵ Torr到大气压。该MicroPirani传感器由一块硅芯片和一个加热电阻元件组成，该元件构成一个腔体的一个表面。芯片上方的盖子构成腔体的另一个表面。由于传感器的几何结构，腔体内不会发生对流，因此传感器对安装位置不敏感。气体分子仅通过扩散作用到达加热元件，并测量气体的热损失。

常用气体校准

与所有热导率传感器一样，925 型传感器对气体类型非常敏感。为了弥补气体依赖性，MicroPirani 内置了多种常用气体校准模式，可通过数字界面进行选择。这使其成为定位真空系统中中等至微小泄漏的简便解决方案。校准气体包括：空气、氩气、氦气、氮气、氢气、水蒸气、二氧化碳、氙气和氖气。

模拟压力输出

925 型压力表还具有 1VDC/十倍频程的模拟压力输出，可与外部模拟设备连接，用于压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。

过程控制继电器

925 最多可配备三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。

可选集成式触摸屏显示器

可选的集成式触摸屏显示器可由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并访问设定点参数以及气体类型。该显示器还会指示可用设定点继电器的状态。高对比度显示屏上显示的压力读数（来自单个传感器或组合读数）可在 5 米以外清晰可见。

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925 Micro Pirani™ 真空传感器是一款基于独特的微机电系统 (MEMS) 真空传感器的热导真空计。925 Micro Pirani™ 提供模拟电压输出、数字接口和设定点继电器，用于过程控制。

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