MKS美国 901P 压电式负载锁真空压力传感器
专为负载锁定环境设计的 901 Plus (901P) 负载锁定传感器 (LLT) 结合了压电和微型皮拉尼真空传感器技术。与传统的热导率真空计相比，其组合输出具有更高的精度、稳定性、重复性和更快的响应速度。

901P 结合了绝对压力和差压测量技术，提供好的性能和功能。901P 采用技术，可测量 50-1000 Torr 范围内的气体无关绝对压力，其精度高于热导率传感器。

与传统的皮拉尼压力表不同，MicroPirani™ 的传感器元件采用一块 1 毫米见方的硅芯片，因此可以在极小的空间内进行测量。得益于 MicroPirani™ 技术，901P 的压力测量范围可低至 10⁻⁵ Torr，比标准皮拉尼传感器低二十个数量级。该传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 901P 可以任意方向安装而不会影响精度。

该压电式差压传感器可在不同的气压条件下确保准确测量大气压力。压电技术采用直接压力读取方式，因此测量结果不受气体种类影响。该压电传感器的测量范围为-760至+760托（相对于大气压）。

901P 还具有每十倍频程 1VDC 的模拟压力输出，可与外部模拟设备连接，用于压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面选择。此外，还有一个可选的辅助模拟输出，用于提供差压测量。

901P 最多可连接三个机械继电器，用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给差压电测量或组合绝对式 MicroPirani™ - 压电测量。

这些真空传感器的紧凑设计显著减少了真空计占用的空间。这对于系统设计人员来说尤其具有吸引力，并有助于构建更紧凑的真空系统。