DIAVAC大亚真空 复合式真空计
定位：镀膜设备主力全域真空规；一支探头覆盖大气压～高真空，配套大亚 DPF/DPA 扩散泵、3AW-25、LCAV-25 真空阀组成日系蒸发 / 溅射真空系统。

DIAVAC大亚真空 复合式真空计
DIAVAC大亚真空 复合式真空计

一、基础原理与型号区分

测量单元集成：

1. 皮拉尼 Pirani（恒温热传导）：大气压 → 1 Pa（粗抽、中真空）

2. 倒置磁控管冷阴极 CCG：1 Pa → 5×10⁻⁷ Pa（扩散泵高真空区间）内置 MCU 自动平滑切换量程，无测量跳变。

主流订货型号

• TRPC-21-N25：NW25（KF25 快拆法兰）【市面常用，可直接对接 LCAV-25 管路】

• TRPC-21-C70：ICF70 金属密封法兰（超高真空腔体）

二、原厂核心技术规格

• 测量量程：5.0×10⁻⁷ Pa ～ 1.0×10⁵ Pa（大气压）

• 精度（氮气、23℃）

• 5×10⁻⁷ ～ 1×10⁴ Pa：±30%

• 1×10⁴ Pa ～ 大气压：±50%

• 供电：DC15～30 V DC，功耗 3 W

• 输出接口：9Pin D-SUB

1. 0～10V DC 对数模拟输出换算公式：\(\boldsymbol{P(Pa)=10^{(1.667\times V_-9.333)}}\)

2. RS485 两线半双工数字通讯

3. 2 点 NPN 集电极开路设定点输出（SP1/SP2），直接用于 PLC 联锁

• 允许压力：最大 200 kPa 绝压，耐受大气冲击

• 使用环境：5～55 ℃；防护等级 IP40

• 接气材质：SUS304 不锈钢

三、TRPC-21 升级亮点（对比 TRPC-20 / TRPC-10）

1. 内置冷阴极防误放电保护压力高于阈值自动停止电离放电；腔体意外大气冲击，保护电极，大幅延长使用寿命；

2. 模拟输出模式两种可选；

3. 压力设定点分辨率提升；

4. 优化内部电路，抗溅射粉尘、电磁干扰能力增强；

5. 支持持续长期连续量产工况（蒸发、溅射镀膜优选）。

四、配套显示单元

1. DGC-A12（单通道显示器）驱动 1 支 TRPC 系列，数码管显示，2 路继电器报警输出；AC100–240V 供电

2. DGC-A31（三通道彩色液晶）最多同时接入 3 台 TR 系列真空计，多路压力集中监控，适合多腔体设备

选型提示：全自动设备可不选配显示器，直接读取 0–10V 或 RS485 接入 PLC。

五、工作逻辑与 PLC 联锁建议（镀膜标准逻辑）

1. 压力＞1 Pa：仅皮拉尼工作，冷阴极自动关断；

2. 压力＜1 Pa：自动启动冷阴极电离测量；

3. 推荐联锁逻辑

• 预抽阶段（＞1 Pa）：监控腔体粗抽压力；

• 压力到达＜1 Pa：允许开启扩散泵加热；

• 腔体充气、压力突升时，规头硬件自动切断冷阴极，无需外部继电器。

六、典型真空监测布局（大亚整套排气系统）

腔体测点 → TRPC-21-N25（全域监测）腔体 → 3AW-25 三通阀 → DPA/DPF 扩散泵 → LAV-K2/LCAV-25 → PZ 前级泵前级管路可增设 TRP-11SP 皮拉尼规，监控前级压力防止扩散泵返流。