DIAVAC大亚真空 摆动柱塞式油封真空泵
大流量、重载粗抽泵；区别于 PZ/GHP 旋片泵，面向中大型真空炉、大型镀膜机粗引真空，不适合做扩散泵持续前级。

DIAVAC大亚真空 摆动柱塞式油封真空泵
DIAVAC大亚真空 摆动柱塞式油封真空泵

一、核心结构与产品特点

1. 摆动柱塞机械结构（非旋片）柱塞摇摆式压缩，耐受大进气负荷、抗粉尘冲击，适合腔体大气→低真空大流量粗抽；

2. 支持长时间连续重载运转，低振动、低噪音；

3. 排气阀组件独立布置，检修拆解简单；

4. 风冷机型，无需冷却水；

5. 极限真空低于 PZ 双级旋片泵，只能用于粗抽工序；

6. 标配三相电机（日系标准 AC200V），大抽速规格。

关键区分：KRP = 粗抽大流量泵；PZ = 扩散泵前级泵（追求更高极限真空），二者不能随意互换。

二、主流型号基础参数（50Hz）

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三、大亚三大机械泵横向对比（选型核心）

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四、典型标准排气回路搭配（大型蒸发 / 真空炉）

大型腔体 → 粗抽隔断阀 → KRP（快速粗抽至低真空）当压力到达阈值 → 切换：腔体→3AW-25 三通阀→DPA/DPF 扩散泵→PZ 前级泵

工艺逻辑：KRP 负责大气粗抽缩短抽气时间，PZ 专职充当扩散泵前级，两套泵分工配合，日系大型镀膜炉经典配置。

五、可选配件

1. 进气粉尘过滤器（炉内溅射颗粒防护）

2. 排气油雾分离器

3. 气镇阀（选配，处理少量水汽）

4. 压力监测接口、防震底座

六、运维注意事项

1. 使用 DIAVAC 专用机械泵油；严禁混用扩散泵硅油；

2. 适合大气→10Pa 区间大流量粗抽；不宜长期维持低真空待机；

3. 环境通风良好，环境温度≤35℃；

4. 不建议单独作为油扩散泵前级，到达不了扩散泵所需临界背压；

5. 定期检查柱塞密封、排气阀片磨损。

七、典型应用场景

1. 大型连续式蒸发镀膜、大面积基板真空镀膜设备粗抽；

2. 中型 / 大型真空热处理炉、真空钎焊炉；

3. 空间环境模拟腔体、大型真空试验装置；

4. 真空浸渍、大型脱泡设备；

5. 搭配 PZ 旋片泵组成两级机组：KRP 粗抽 + PZ 高真空的前级。