DIAVAC大亚真空 PZ系列油封式旋转真空泵
日系蒸发镀膜、小型高真空系统经典前级

DIAVAC大亚真空 PZ系列油封式旋转真空泵
DIAVAC大亚真空 PZ系列油封式旋转真空泵

一、核心产品特点

1. 内置停机防返油阀停机自动切断进气，防止真空泵油逆流污染腔体 / 扩散泵，镀膜设备关键防护设计。

2. 标配气镇阀可抽除少量水汽、溶剂蒸气，适合蒸发工艺间歇工况；持续大量水汽建议增设冷阱。

3. 低振动、低噪音，轻量化紧凑型机身；日系真空设备原装配套主力型号。

4. 双级结构，极限真空高，满足油扩散泵所需前级压力（低于临界背压）。

5. 进气标准接口：KF 快拆法兰，方便搭配 LCAV 系列 KF 角阀；也可配转接对接 VF 管路。

6. 电机电压标准：AC200V（日系设备主流），可选 AC100V。

二、主流型号规格（数字代表抽速 L/min，50Hz）

表格

重要：扩散泵运行前级压力一般要求＜0.1 Torr（约 13Pa），PZ 系列满足临界背压要求。

三、型号选配说明

• 基础型号 PZ-XXX 标准配置：气镇阀、内置防返油、KF 进气法兰

• 可选配件：① 进气粉尘过滤器（防止镀膜溅射颗粒进入泵腔）② 油雾分离器（减少排气油烟）③ 油压 / 油温保护开关④ 法兰转换：KF 转 VF 法兰，对接 LAV-K2（VF 角阀）

四、整套经典排气回路（大亚全系成套方案）

腔体 → 水冷挡板 / 冷阱 → 3AW-25（气动三通阀） → DPF/DPA 扩散泵 → LCAV-25 / LAV-K2 隔断阀 → PZ 旋片前级泵

五、PZ 系列 vs 老款大亚 PS 系列旋片泵

• PZ：新一代，防返油结构优化、噪音更低、机身更小，当前主力供货型号

• PS：旧款存量机型，逐步停产；备件供货周期更长，新项目优先选用 PZ

六、运行与维护要点（镀膜设备重点）

1. 润滑油：使用 DIAVAC 原厂专用旋片泵油，禁止混用扩散泵硅油；定期观察油位、油色。

2. 启停逻辑（搭配扩散泵系统）✅ 开机：启动 PZ 前级泵 → 管路预抽达标 → 开启扩散泵加热✅ 停机：扩散泵先断电加热 → 充分冷却 60min 以上 → 再停 PZ 旋片泵

3. 气镇使用：日常洁净真空关闭气镇；腔体含水汽、有机溶剂时短时开启气镇。

4. 定期维护：每 3000～4000 小时更换真空泵油；粉尘环境加装前置过滤器。

5. 泵体风冷，四周预留通风空间，环境温度不宜＞35℃。

七、典型应用场景

• 电阻蒸发、电子束蒸发镀膜机（日系设备标配）

• 实验室高真空腔体、真空检漏装置

• 真空热处理、小型钎焊炉前级真空机组

• DIAVAC 原厂 DS-Z 系列一体化高真空排气机组配套前级