DIAVAC大亚真空 油扩散泵 DPF-Z 水冷系列
喷嘴采用组装式设计。只需松开顶部喷嘴上的螺栓和螺母，即可将其拆卸，方便清洗各级喷嘴。
加热器更换简便。

DIAVAC大亚真空 油扩散泵 DPF-Z 水冷系列
DIAVAC大亚真空 油扩散泵 DPF-Z 水冷系列

一、产品核心特点（原厂）

1. 外热式锅炉加热结构加热器包裹锅炉外侧；相比 DPA 内热式，功耗更高、整机偏重、升温预热时间更长。

2. 多级分馏锅炉结构有效分离轻组分油气，搭配专用扩散泵油，裸泵极限真空可达 5×10⁻⁵ Pa；加装水冷挡板 / 液氮冷阱可至 10⁻⁶ Pa。

3. 模块化可拆卸喷嘴组件各级喷嘴可单独拆解清洗，维护便利，非常适合镀膜工艺长期使用。

4. 标准法兰：JIS VF 日式法兰设备改造注意：VF 固定螺栓法兰 ≠ KF 快拆法兰，无法直接对接 LCAV-xx（KF）；只能直接匹配 LV-K2 / LAV-K2（VF 法兰角阀）。

5. 临界背压中等，运行必须严格遵守启停时序，防油返流

二、主流常用小型型号（镀膜设备最常见）

市面存量最多：DPF-18Z / DPF-22Z / DPF-24Z / DPF-28Z / DPF-36Z（日系中小型蒸发机标配，和你查询的 3AW-25 三通阀成套排气）

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三、DPF-Z（老款水冷）VS DPA-R（新款节能型）【重点区分】

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四、标准排气回路（DPF-Z 配套大亚阀门，日系经典布局）

腔体 → 水冷挡板 / 液氮冷阱 → 3AW-25 气动三通阀 → DPF-xxZ 扩散泵 → LAV-K2（VF 气动角阀） → 旋片前级泵

注意：DPF 法兰 VF，后端隔断阀不能直接用 LCAV-25（KF25），必须选用 LAV-K2 (VF25)

五、型号选配与附件

1. 标配：水冷夹套、主体泵体、外热加热器

2. 可选原厂配件

• 水冷防返流挡板（Baffle）

• LN₂液氮冷阱

• 冷却水流量 / 温度保护开关

• 油位观察视窗组件

3. 推荐工作介质：DIAVAC 专用扩散泵油（A 油 / F-4 / F-5 硅油），严禁混用普通真空泵油。

六、安全运行关键规范

1. 必须持续通水冷却；缺水加热会直接烧毁加热器、泵体变形。

2. 开机顺序：前级泵预抽 → 压力降至临界背压以下 → 开启扩散泵加热。

3. 停机强制要求：先切断加热电源 → 自然冷却≥60 分钟，确认泵体充分降温，方可关闭前级泵；提前停前级泵极易造成油返流污染腔体。

4. 长期停机建议管路设置隔断阀，防止大气压力倒灌引发返流。

七、典型应用场景

• 日本老式电阻蒸发、电子束蒸发镀膜机

• 中小型真空热处理、真空钎焊炉

• 高校实验室老式高真空排气系统

• 存量进口真空设备备件替换