DIAVAC大亚真空 DPA系列油扩散泵
大型沉积设备、溅射设备等。
真空热处理炉、真空熔炼炉、真空钎焊炉等。
各种真空排气系统。

DIAVAC大亚真空 DPA系列油扩散泵
DIAVAC大亚真空 DPA系列油扩散泵

一、核心产品特点（原厂规格）

1. 内热式加热器，节能相比旧 DPF 功耗降低约 40%；加热器独立可拆卸，维修无需整泵拆解。

2. 轻量化紧凑机身重量约为 DPF 同规格的 1/2，方便设备机架布局。

3. 启动速度大幅提升升温待机时间缩短至 DPF 系列的 1/2，缩短设备待机工时。

4. 改良多级喷射喷嘴（带引射功能）临界背压更高，对前级泵稳定性容忍度更好，不易返流；

5. 标配水冷结构；型号后缀 R 代表标准改良机型。

极限真空（使用专用扩散泵硅油）：裸泵：≤5×10⁻⁵ Pa；搭配冷阱可达 10⁻⁶ Pa 级别

二、主流完整型号清单（市面常备型号）

• DPA-18

• DPA-22

• DPA-24R

• DPA-28R

• DPA-36R

命名规则：数字代表口径规格；后缀 R = 改良版（主流现货型号）

三、型号后缀与选配说明

• R：改良喷嘴、提升抗返流性能（当前主力型号）

• 选配项目：① 防返流挡板 / 水冷障板② 液体氮冷阱 LN₂ Trap③ 油温、冷却水流量联锁保护套件④ 法兰规格：JIS VF 法兰（日系设备标配），少数可定制 KF 接口

四、典型应用场景

1. 电阻蒸发镀膜、电子束蒸发设备

2. 中小型直流溅射、射频溅射腔体排气

3. 真空热处理、真空钎焊、真空熔炼炉

4. 各类高真空试验腔体、真空检漏系统