DIAVAC大亚真空 真空阀：气动三通夹紧阀
该气动三通阀利用压缩空气，通过两个三通电磁阀进行粗调和辅助操作，从而实现阀门的开启和关闭。

DIAVAC大亚真空 真空阀：气动三通夹紧阀
DIAVAC大亚真空 真空阀：气动三通夹紧阀

品名：气动式三通夹紧真空阀（NW25/KF25）3W 系列气动版本（A=Air 气动驱动；手动型号：3W-25）

一、基础规格

• 型号：3AW-25

• 通径：DN25 / NW25（KF25 快拆法兰，三端口统一 KF25）

• 驱动方式：气动双作用气缸（必须搭配二位五通电磁阀驱动换向）

• 流导参数

• C ↔ R：13 L/s

• C ↔ F：7 L/s

• 本体漏率：≤1.3×10⁻⁶ Pa・m³/s

• 允许压差：0.1 MPa

• 阀体材质：SUS304 不锈钢

• 标准密封：FKM 氟橡胶 O 圈

• 动作模式：两工位互斥切换1）C ↔ R 导通（粗抽通路）2）C ↔ F 导通（高真空通路）两路不会同时连通

二、端口定义（通用布局）

• C：Common 公共口（接腔体）

• R：Rough 粗抽口（接前级泵 / 粗抽管路）

• F：Fine 高真空口（接分子泵 / 高真空侧）

三、型号后缀（订货关键）

完整型号范例：3AW-25T

• T：内置簧片位置开关，两路信号反馈，PLC 识别当前工位（自动化设备优选）

• 无 T：不带位置检测，无法上位机监控阀门状态

四、核心产品特点

1. 平面压紧密封结构，不同于真空球阀；启闭无滑动摩擦，产生粉尘极少，适配镀膜、半导体洁净真空系统；

2. 一体式三通阀体，单阀实现粗抽 / 高真空自动切换，精简管路布局；

3. KF 快拆法兰，拆装、更换密封圈维护简便；

4. 气动自动换向，适合全自动真空产线 PLC 时序控制；

5. 可选阀位反馈，用于设备互锁、安全联锁。