KITZ日本 气动加热真空波纹管阀（自动热阀
波纹管内置加热 + 阀体外部加热，全域无冷点，抑制前驱体凝华沉积；

一、产品概述

标准订货范例：IVBH40CA-NWF-(RS)

二、核心加热结构（最大卖点）

1. 外部阀体加热器：最高 150℃

2. 波纹管内置螺旋加热器：最高 180℃

   配套 K 型热电偶测温；可搭配 KITZ SCT 专用双通道温控器独立调节两路温度。

⚠️ 区分升级型号：IVBHK 最高 250℃烘烤（Inconel 波纹管、特种 Kalrez 密封），不要混淆。

三、基础规格参数

1. 可选通径

2. 真空 & 压力条件

• 极限真空：1×10⁻⁶ Pa（绝压）

• 最大承压：0.2 MPa (A)

• 驱动气源：0.4～0.6 MPa 洁净 N₂/ 干燥空气

3. 温度规格

• IVBH 标准款：介质最高 180℃

• 环境温度：-15℃ ~ 100℃

• 更高温度需求 → 选用 IVBHK（250℃）

4. 接液材质

• 阀体：SUS304

• 波纹管：SUS316L 焊接金属波纹管

• 阀座密封：标准 FKM 氟橡胶；腐蚀工况可选特种密封

5. 氦泄漏指标

• 阀座内漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 波纹管外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

四、完整型号编码解析

1. IVBH：L 型加热真空波纹管阀（无内置旁路）

2. 40：公称口径 25/40/50/80A

3. 气动驱动形式（自动阀）

• CA：弹簧复位 NC 常闭（主流，失气关闭）

• SO：弹簧复位 NO 常开（失气开启）

• DA：双作用，断气保持当前位置

4. 法兰接口

• NWF = NW/KF 快拆法兰（市面标配）

• MFF = CF 超高真空法兰

• VFG = VF 法兰

5. (RS)：可选磁性阀位反馈传感器（PLC 监控阀门开 / 关）

带柔性慢抽旁路型号编码：IVBH-V

例：IVBH40VXA-CA-NWF-(RS)

五、IVB 全系列横向对照表（选型关键）

六、产品核心优势