KITZ日本 L型气动真空波纹管隔离阀（自动款
半导体真空腔体标准隔离阀；金属波纹管轴封结构，无填料，杜绝轴向外漏；主要用于真空管路通断隔离，仅全开 / 全关二位动作，原生不带慢抽旁路。

一、产品概述

二、基础规格参数

1. 可选公称口径

2. 压力与真空指标

• 极限真空：1×10⁻⁶ Pa（绝压）

• 最大承压：0.2 MPa (A)

• 驱动气源：0.4～0.6 MPa 洁净 N₂/ 干燥空气

3. 温度范围（标准常温 IVB）

• 介质温度：-15℃ ~ 100℃

高温工况升级选型：

IVBH：阀体可加热，最高 180℃

IVBHK：最高烘烤 250℃

4. 接液材质

• 阀体：SUS304

• 波纹管：SUS316L（焊接金属波纹管）

• 阀座密封：标准 FKM 氟橡胶；可选特种耐腐密封

5. 氦泄漏规格（真空核心指标）

• 阀座内漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 波纹管外部泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

三、型号编码完整拆解

1. IVB：基础 L 型真空波纹管阀（无旁路）

2. 40：通径 25/40/50/80A

3. 驱动方式（气动自动）

• CA：弹簧复位 NC 常闭（行业常用，失气关闭）

• SO：弹簧复位 NO 常开（失气打开）

• DA：双作用（无弹簧，断气保持当前状态）

4. 法兰接口

• NWF = NW/KF 快拆法兰（主流）

• MFF = CF 超高真空法兰

• VFG = VF 法兰

5. (RS)：可选 阀位反馈传感器（电气信号输出，监控阀门开 / 关）

⚠️ 带旁路柔性慢抽型号：编号增加 V → IVB-V，不要和标准 IVB 混淆

四、IVB 家族完整版本区分（选型重点）

五、核心优势

1. 波纹管无轴封结构，极低脱气、极低外漏，适配超高真空；

2. L 型角式流道，流阻适中，不易堆积粉尘、反应副产物；

3. 气缸气动驱动，响应稳定，适合设备自动化控制；

4. 法兰标准化 NW/CF 接口，半导体真空设备通用；

5. 可选阀位传感器，方便 PLC 状态监控联锁。