KITZ日本 KD-K 全金属高温气动隔膜阀
用于前驱体高温管路、高温烘烤（bake-out）工艺。

一、产品定义

标准订货型号示例：KD4KCS-VEC-EP-316L

二、基础工作原理

三、规格参数

1. 可用口径

• KD2K：1/8"

• KD4K：1/4"（通用）

• KD8K：1/2"

❗无 KD12K（3/4" 规格不生产 KD-K）

2. 压力 & 温度边界

• 最高工作压力：0.98 MPa(G)（142 psig）

• 流体温度：−10℃ ~ 250℃（核心卖点）

• 环境温度：−10℃ ~ 60℃

• 驱动气源：0.4~0.6 MPa 洁净 N₂/ 干燥空气

• 标准配置：NC 常闭；可选 NO 常开

3. 接液材质（全金属）

• 阀体：SUS316L / SUS316LE

• 隔膜：Elgiloy 钴基合金

• 密封副：金属 - 金属硬密封（无任何塑料阀座）

4. 内腔抛光等级

• STD：机械抛光 Ra≤0.5μm

• EP：电解抛光 Ra≤0.13μm（主流选型）

• SEP：超电解抛光 SUS316LE

5. 泄漏规格（氦检，重点留意）

• 阀座内漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s（＞塑料阀座 KD-C，无法做到 1e-10 级别）

• 外部泄漏：≤1×10⁻¹² Pa・m³/s

选型提醒：如果工艺要求严格零内漏、长期保压，优先考虑波纹管阀 IB 系列，不要选 KD-K。

四、型号编码拆解

1. KD：基础系列

2. 4：通径（2=1/8，4=1/4，8=1/2）

3. K：Metal-Seat 全金属高温结构

4. S：直通二通；B = 三通分支（KD-K 三通极少）

5. VEC / VFC：管路接口

• VEC = M‑CVC 外螺纹 CVC

• VFC = F‑CVC 内螺纹 CVC

6. EP/SEP/STD：抛光等级

7. 316L /316LE：阀体材质

五、核心优缺点

✅优势

1. 250℃长期耐受，支持在线高温烘烤 bake-out；普通 KD-C 最高仅 80~120℃；

2. 无高分子材料，无高温析出、无碳化、无塑料微粒污染；适配固态 / 液态高温前驱体；

3. 阀体尺寸与标准 KD-C 兼容，同口径可直接互换安装；

4. 低死体积，置换性能延续 KD 系列优势；

5. 耐大部分高温有机前驱体、高温惰性气体。

⚠️短板（选型避坑）

1. 金属硬密封存在固有微量内漏，不能用于需要长期保压、气密严苛的特气主线；

2. 启闭循环寿命低于 PCTFE 软密封 KD-C；

3. 禁止用于频繁压力波动 + 强腐蚀性卤素气体，容易加速密封面磨损；

4. 没有 KD-KE 可维修版本、没有 KD-KT 两段流量版本；只有标准二位开关；

5. 温度循环冷热冲击工况，密封性能会缓慢衰减。

六、典型应用场景

• ALD/CVD 高温前驱体管线（TEOS、金属有机源等高温输送）

• 真空腔体、气路模块高温烘烤回路

• 高温惰性气体吹扫、热清洗管路

• 光伏、半导体设备高温工艺流体切断