TANIGUCHI 谷口 紧凑型氟树脂潜水加热器
UFS = Slim 小型立式 U 型，定位：窄槽、小型半导体清洗槽、腔体狭小、安装空间受限工况。

TANIGUCHI 谷口 紧凑型氟树脂潜水加热器
TANIGUCHI 谷口 紧凑型氟树脂潜水加热器

一、产品基础定位

• 外形：立式 U 型（和 UFA 形态一致，但是整体宽度收窄、体积更小）

• 核心优势：横向占用空间极小，适合槽内配件密集、槽体宽度窄、无法安装标准 UFA 的湿法工艺槽、小型蚀刻槽、实验室设备槽。

• 应用：半导体小型清洗槽、小样电镀槽、微型药液循环槽、紧凑型自动化设备槽体。

二、核心技术参数

1. 结构内芯 SUS316，多层 FEP/PFA 氟树脂包覆（膜厚 0.3mm，同 UFA 标准款）加热管径：φ12（与 UFA/UFAL 一致，小于 UFH/UXBH φ16）

2. 使用条件

• 最高药液温度：90℃ MAX，长期稳定运行≤85℃

• 药液比重 ≤1.1

• 低浸没液位：200mm（和标准 UFA 一致，高于 UFAL 150mm）

• 防护等级：IPX8 潜水型

• ❌ 禁止介质： HF；HF 工况选用谷口 KCK 石英加热器

• ⚠️ 必须配置液位保护，严禁干烧，氟树脂涂层干烧直接破损

3. 电气规格主流：三相 AC200V（代码 05，半导体产线标配）；可选单相 AC200V（02）标配 PFA 耐腐电缆，支持线缆长度定制。

三、型号编码规则（和 UU-Fron 家族统一编码体系）

【功率】UFS-【尺寸代码】-【电压代码】【S 后缀】示例：15UFS-26-05S

• 15：1.5kW

• UFS：超薄紧凑型立式 U 型系列

• 26：外形尺寸代码（发热段长度）

• 05 = 三相 AC200V；02 = 单相 AC200V

• S = 内置 K 型热电偶；无 S = 不带温度传感器

功率前缀定义（原厂标准规格）

05UFS →0.5kW10UFS →1.0kW15UFS →1.5kW23UFS →2.3kW

⚠️重点：UFS 最大标准功率仅 2.3kW，没有 3.5kW 及以上规格；大功率窄槽方案需要选用多支 UFS 并联，或者改用 UXBH。

标准尺寸代码：26 / 34

市面流通主流完整型号

三相 AC200V（代码 05，主力采购款）

05UFS-26-0510UFS-26-0515UFS-26-0515UFS-34-0523UFS-34-05

单相 AC200V（代码 02，小型试验设备）

05UFS-26-0210UFS-26-0215UFS-34-02

内置 K 型热电偶型号（后缀 S）

05UFS-26-05S、10UFS-26-05S、15UFS-34-05S、23UFS-34-05S

补充：UFS 无更大尺寸代码（45/56/67），大功率不在 UFS 产品线内。