DIC迪爱生 eFLOW 超纯水防静电装置
eFLOW 是集成整机系统，内置 PF-L 内灌流膜模组，实现【超纯水深度脱气 + CO₂溶入控电阻率防静电】一体化，半导体晶圆 / 面板清洗专用。

一、工作原理

原生 18.2MΩ・cm 超纯水绝缘性强，水流冲刷晶圆、PFA 管路极易蓄积静电，造成线路静电击穿、粉尘静电二次吸附、清洗水印缺陷。eFLOW 利用 DIC 中空纤维透气膜技术：

1. 脱气支路：内置 PF-L 模组真空脱除水中 O₂、原生 CO₂，消除气泡缺陷；

2. CO₂溶入支路：超纯水通入中空纤维内腔，膜外侧通入高纯 CO₂，生成碳酸饱和水；

\(\boldsymbol{H_2O+CO_2 \rightleftharpoons H_2CO_3 \rightleftharpoons H^+ + HCO_3^-}\)微量离子提升水体导电能力；3. 自动配比混合：饱和碳酸水与主路超纯水动态混合，闭环精准控制出水电阻率（0.1～15 MΩ・cm 可调），持续导出静电。

核心：不添加化学药剂，仅溶解 CO₂，不引入杂质，维持超纯水洁净等级。

二、型号体系与命名规则

两大机型大类

1. P 系列（AP 面板机架式，主流）适配 EIA 标准机柜嵌入式安装，设备机台内部集成优选

• 1AP：单模组；流量 1～16 L/min

• 2AP：双模组；流量 5～30 L/min

• 4AP：四模组；更大流量产线循环后缀 B01 / B02：洁净接头、管路规格；接液无金属构造

2. C 系列（AC 落地柜式）独立落地柜体，内置 CO₂气瓶仓、电阻率控制柜

• 1AC / 2AC / 3AC，适合纯水站集中调质

三、核心特点

1. 电阻率控制稳定性优异分流混合结构，进水流量波动时阻值漂移极小，满足 8/12 寸优良制程严苛要求；

2. 一机双功能：脱气 + 防静电调质内置 PF-L 低压损纯水脱气模组，同步去除溶解氧、抑制氧化缺陷；

3. 低故障、长寿命无旋转泵、无动态密封；CO₂溶解模组原厂质保 5 年；

4. 低压损设计基于 PF-L 低压损膜芯，不需要额外增压泵，便于产线改造；

5. 实时监测输出内置电阻率传感器，信号可对接上位机，异常报警；

6. 全洁净接液PMP 中空纤维 + UPVC+EPDM，无金属析出，匹配 UPW 超纯水系统。

四、介质适用边界

✅适用：18.2MΩ・cm DI 超纯水、晶圆 / 掩模 / 面板清洗纯水、高压喷淋、切割纯水❌禁止：有机溶剂、HF、浓酸碱、各类药液

腐蚀流体脱气 / 调质不能使用 eFLOW，选用 PF-F 全氟模组单独配置。

五、典型应用场景

1. 半导体：硅片槽式清洗、高压喷射清洗、晶圆切割清洗、掩模版清洗；

2. 显示面板：LCD/OLED 玻璃基板、彩滤片水洗工序；

3. 第三代半导体（SiC/GaN）功率器件清洗；

4. 光学元件、精密零件超纯水喷淋制程。