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脱气模组
PF-13FDIC迪爱生 全氟耐化学脱气模组(药液 /溶剂





产品型号:PF-13F
更新时间:2026-07-24
厂商性质:经销商
访问量:8
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DIC迪爱生 全氟耐化学脱气模组(药液 /溶剂
DIC迪爱生 全氟耐化学脱气模组(药液 /溶剂
PF-XXF (-T)
PF:内部灌流结构(液体走中空纤维内腔;膜外侧抽真空 / 通入工艺气体)
数字:膜面积规格,决定处理流量(03F / 05F / 10F /13F /28F /60F)
F:Full Fluorine 全氟材质(PTFE 膜 + PFA 壳体 + FFKM 氟橡胶密封)
-T:低压损改良版本(流道优化,同等流量压降更小,适合低压小流量回路)
✅ PF-F 接液全部氟树脂体系
中空纤维膜:PTFE(聚四氟乙烯)透气不透液
流体壳体 / 接头:PFA
密封垫圈:FFKM 全氟橡胶❌ PF-D:PMP 聚烯烃 + UPVC+EPDM,不能接触溶剂、浓酸碱,会溶胀失效
液体在中空纤维内部流动;模组外壳腔体连接真空泵形成负压。药液内溶解 O₂、N₂、CO₂、微气泡依靠分压差透过 PTFE 膜被抽出;双向可用:真空脱气,或者外侧通入 N₂/O₂实现药液溶气。
液侧最高耐压:0.294 MPa(≈0.3MPa)
建议长期运行压力 ≤0.25MPa,压力过高存在液体穿透膜风险
使用温度:5~40℃
标准壳体:不锈钢外壳;内部流路全氟树脂
结构优势:支持反向冲洗,可定期冲洗膜面杂质
表格
| 型号 | 推荐流量 | 外形尺寸 | 液体接口 | 真空口 |
|---|---|---|---|---|
| PF-03F | 1~100mL/min | φ102×180mm | 强力支柱 1/4 | Rc1/8 |
| PF-05F | 1~100mL/min | φ102×180mm | 强力支柱 1/4 | Rc1/8 |
| PF-10F | 1~200mL/min | φ102×260mm | 强力支柱 1/4 | Rc1/8 |
| PF-13F / PF-13F(T) | 1~300mL/min | φ102×260mm | 强力支柱 1/4 | Rc1/8 |
| PF-28F | 1~500mL/min | φ102×440mm | 强力支柱 3/8 | Rc1/8 |
后缀 (T) = 低压损改良款,优先用于低压小流量精密循环回路。
✅ 适用光刻胶、稀释剂、显影液、蚀刻液、各类强酸强碱、有机溶剂、溶剂型喷墨墨水❌ 不建议长期使用强表面活性剂高浓度体系(易造成膜浸润泄漏)
表格
| 项目 | PF-F(药液溶剂款) | PF-D(纯水标准款) |
|---|---|---|
| 膜材质 | PTFE | PMP 聚烯烃 |
| 接液材质 | PFA+FFKM | UPVC+EPDM |
| 适用流体 | 有机溶剂、HF、强酸强碱、各类工艺药液 | DI 超纯水、弱酸碱清洗水 |
| 耐压上限 | 0.294MPa | 0.3MPa |
| 价格 | 更高 | 经济型 |
| 典型场景 | 半导体光刻、蚀刻药液回路 | 纯水清洗、超声波纯水脱泡 |
半导体晶圆制程:光刻胶、显影液、蚀刻药液在线脱气,防止涂布针孔、线路缺陷
LCD / 面板药液输送脱泡
溶剂型喷墨墨水循环脱气,避免断墨
精密涂布、点胶设备溶剂流体除微气泡
实验室腐蚀性试剂循环脱气
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