DIC迪爱生 SEPAREL 中空纤维膜脱气组件
PF-D = 标准内灌流小型脱气模组，定位就是低压、小流量纯水回路，半导体湿法、精密清洗、实验室水路主流标配。

一、型号命名解析

PF-XXXD

• PF：内部灌流式（液体从中空纤维膜丝内部流动；真空 / 工艺气体通膜外侧）

• D：Standard 标准纯水通用款（纯水、弱酸碱专用）

• 数字：规格流量代码

区分：PF-F = 氟树脂耐溶剂款（药液、有机溶剂）；PF-D 仅限纯水 / 弱药液

二、工作原理

模组内置亲水 PMP 聚烯烃中空纤维膜，透气不透水。

1. 真空脱气模式（主流）外侧接真空泵形成负压，水中溶解 O₂、CO₂、N₂穿过膜被抽出，消除管路气泡、实现 ppb 级脱氧；

2. 供气溶气模式（可选）外侧通入 N₂/H₂/O₂，向纯水溶解工艺气体，制备功能清洗水。

三、核心特点（适配低压小流量场景）

1. 低压损设计膜丝流道平顺，小流量回路不会造成明显压力爬升，适配小型隔膜泵、微量循环水路；最大耐压仅 0.3MPa，适合低压系统。

2. 小型圆柱紧凑结构容易集成在设备机柜、小型清洗机内部。

3. 可反向清洗定期逆向冲洗膜面杂质，延缓膜污染，延长使用寿命。

4. 高洁净低析出PMP 膜 + EPDM 密封，超纯水场景稳定，脱氧低可达1 ppb 级别。

5. 一机两用真空脱气 / 加压溶气两种工况切换。

四、主流 PF-D 小型型号参数（低压小流量主力）

表格

通用基础规格：

• 最高液体耐压：0.3 MPa（3bar）

• 使用温度：5～40℃（常温）

• 壳体：标准 UPVC；可选不锈钢洁净壳体

五、适用介质 & 禁忌

✅ 适用：超纯水、DI 水、弱酸碱清洗液❌ 禁止：有机溶剂、浓酸浓碱、强表面活性剂；这类工况改用 PF-F（PTFE 氟树脂系列）

六、典型应用场景

• 半导体晶圆湿法清洗、超纯水支路脱气

• 超声波精密清洗机、微型循环纯水系统

• 实验室小型纯水回路、液相微量水路脱泡

• 氢水、氮气饱和功能水制备

• 喷墨设备、小型涂布流体除气泡