DIC迪爱生 PF-T 高温型脱气模组
耐高温密封长效稳定
专用高温橡胶 / FFKM 氟密封，长期 60/80℃运行不软化、不渗漏、无有机析出，避免药液污染晶圆。

一、系列定义与命名规则

1. PF-XXD-T：纯水高温型（PMP 材质，热水 / 高温超纯水）

2. PF-XXL-T：大流量纯水高温低压损款（产线高温纯水主循环）

3. PF-XXF-T：全氟耐化学高温型（半导体高温蚀刻、热药液、有机溶剂）

   通用结构：内灌流中空纤维脱气，液体走膜丝内腔，外侧真空抽气，支持反向冲洗、脱气 / 溶气两用。

二、核心升级：高温专用材质（区别常温款）

1. 纯水高温款 D-T / L-T（热水、DI 超纯水）

• 中空纤维膜：耐高温改性 PMP

• 壳体：耐温 UPVC / 改性聚丙烯

• 密封：高温耐老化 EPDM，常温款 EPDM 高温易软化渗漏

• 适用介质：高温纯水、稀弱酸碱清洗液

• 禁用：HF、浓酸、有机溶剂

2. 全氟高温款 F-T（腐蚀热药液半导体主力）

• 膜丝：PTFE 全氟透气膜

• 壳体 / 接头：PFA 高温氟树脂

• 密封：耐高温 FFKM 全氟橡胶

• 耐受介质：80℃以内 HF 蚀刻液、热剥离液、高温显影液、IPA、光刻胶、各类浓酸碱、有机溶剂

三、通用温度 & 耐压标准

四、三大高温细分系列定位 + 主流型号

（一）PF-D-T 小型高温纯水（低压小流量热水支路）

• PF-001D-T：0.6～60 L/h，φ60×140，Rc1/4 螺纹

• PF-004D-T：3～180 L/h，φ99×260，Rc3/8 螺纹

  优势：体积小巧，60℃热水稳定脱气，接口与普通 PF-D 互换，直接替换升级。

（二）PF-L-T 大流量高温纯水（产线主线热水）

（三）PF-F-T 全氟高温耐化学（半导体高温药液主流）

五、PF-T 高温系列核心优势

1. 耐高温密封长效稳定

   专用高温橡胶 / FFKM 氟密封，长期 60/80℃运行不软化、不渗漏、无有机析出，避免药液污染晶圆。

2. 流道低压损改良（T 通用优化）

   内部纤维导流结构重新设计，高温、高粘度液体下压损比普通款降低 30%，适配低压循环泵。

3. 同规格尺寸接口通用，改造

   D-T/L-T/F-T 外形、螺纹 / 快插接口与对应常温 PF-D/L/F 一致，设备改造直接替换，无需改管路。

4. 高温下脱气效率稳定

   高温液体气体溶解度下降易大量析出气泡，T 系列加大真空导流通道，高温脱泡能力优于常温模组。

5. 支持高温药液反向冲洗

   热纯水 / 热稀释溶剂在线反洗，去除膜面高温析出结晶颗粒，延长耗材寿命。

六、典型应用场景

1. PF-F-T（全氟高温，半导体核心）

• 高温 HF 蚀刻、热磷酸蚀刻、高温剥离液循环脱气

• 80℃以内热显影液、高温光刻胶稀释剂、IPA 热溶剂脱泡

• 面板 LCD/OLED 高温彩色滤光涂布液除气泡

2. PF-D-T / PF-L-T（纯水高温）

• 60℃高温 DI 水晶圆清洗、硅片高温水洗防氧化水印

• 光学镜片高温超声波清洗大流量热水回路

• 制药纯化热水、工业高温锅炉给水脱氧